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エコ商品
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合8インチ、300mm用
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
￥71,980
税込￥79,178
20日以内出荷
6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。※ 透過照明で観察できる範囲は移動量よりも狭くなります。外観図のテーブル透過穴をご参照ください。
種類xyステージ
繰返し精度(mm)±0.002
分解能(mm)0.002
適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
耐荷重(N)49(5kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向XY軸2方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.015(垂直)
移動量(mm)XY軸±75
使用モータPKP523N12A
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)40(20000pps時)
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
移動量300mm×300mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
材質アルミ合金
質量(kg)10.3(アルミプレートを除く)
種類xyステージ
表面処理黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
分解能(mm)0.002
適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
耐荷重(N)49(5kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向XY軸2方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動量(mm)XY軸±150
使用モータPKP523N12A
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)40(20000pps時)
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
材質アルミ合金
質量(kg)7.3(アルミプレートを除く)
種類xyステージ
表面処理黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
分解能(mm)0.002
適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
耐荷重(N)49(5kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向XY軸2方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.025(垂直)
移動量(mm)XY軸±100
使用モータPKP523N12A
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)40(20000pps時)
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
付属品アルミプレート、アダプタ、検査合格、六角穴付きボルト(アダプタ取付用)M3 4本
材質アルミ合金
質量(kg)3.3(アルミプレートを除く)
種類xyステージ
表面処理黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
分解能(mm)0.002
適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
耐荷重(N)29.4(3kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向XY軸2方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.015(垂直)
移動量(mm)X軸±50、Y軸±25
使用モータPKP523N12A
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.002
最高速度(mm/s)40(20000pps時)
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
4インチ対応の移動量100mm×100mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
仕様●ステージ面(mm)：205×183●リミットセンサ：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●位置決め精度(1/10ストローク)(mm)：X軸0.010、Y軸0.010●位置決め精度(フルストローク)(mm)：X軸0.040、Y軸0.040
備考QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4)：36
種類xyステージ
繰返し精度(mm)±0.002
分解能(mm)0.002
適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
耐荷重(N)29.4(3kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向XY軸2方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.015(垂直)
移動量(mm)XY軸±50
使用モータPKP523N12A
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)40(20000pps時)
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
1台
￥899,800
税込￥989,780
20日以内出荷
移動量50mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
付属品アルミプレート、アダプタ、検査合格、六角穴付きボルト(アダプタ取付用)M3 4本
材質アルミ合金
質量(kg)2.7(アルミプレートを除く)
種類xyステージ
表面処理黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
分解能(mm)0.002
適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
耐荷重(N)29.4(3kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向XY軸2方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.008
移動量(mm)XY軸±25
使用モータPKP523N12A
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.002
最高速度(mm/s)40(20000pps時)
テーブル幅(mm)155
テーブル長さ(mm)155
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)280
テーブル幅(mm)230
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(ニコン)エクリプスLV150/LV150A
質量(kg)5.1(アルミプレートを除く)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.015
使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.010、(Y軸)0.010、【フルストローク】(X軸)0.030、(Y軸)0.030
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
￥999,800
税込￥1,099,780
10日以内出荷
6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)280
テーブル幅(mm)230
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(ニコン)エクリプスLV100D
質量(kg)5.1(アルミプレートを除く)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.015
使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.010、(Y軸)0.010、【フルストローク】(X軸)0.030、(Y軸)0.030
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
￥999,800
税込￥1,099,780
10日以内出荷
移動量300mm×300mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)460
テーブル幅(mm)405
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(ニコン)オプチフォト300、エクリプスL300/L300D
質量(kg)10.3(アルミプレートを除く)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
使用モータPK525HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.040、(Y軸)0.040、【フルストローク】(X軸)0.120、(Y軸)0.010
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
￥1,798,000
税込￥1,977,800
30日以内出荷
6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)280
テーブル幅(mm)230
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(ニコン)エクリプスL200/L200A
質量(kg)5.1(アルミプレートを除く)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.015
使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.010、(Y軸)0.010、【フルストローク】(X軸)0.030、(Y軸)0.030
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
￥999,800
税込￥1,099,780
10日以内出荷
8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)355
テーブル幅(mm)305
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(ニコン)エクリプスL200/L200A/L200D/L200N/L200ND
質量(kg)7.3(アルミプレートを除く)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.025
使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.015、(Y軸)0.015、【フルストローク】(X軸)0.060、(Y軸)0.050
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
￥1,298,000
税込￥1,427,800
70日以内出荷
移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル幅(mm)155
耐荷重(N)29.4
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(ニコン)オプチフォト100S、エクリプスME600
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.002
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)280
テーブル幅(mm)230
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(オリンパス)MX40、MX51
質量(kg)5.1(アルミプレートを除く)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.015
使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.010、(Y軸)0.010、【フルストローク】(X軸)0.030、(Y軸)0.030
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
￥999,800
税込￥1,099,780
10日以内出荷
移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル幅(mm)155
耐荷重(N)29.4
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(オリンパス)BX40、BX41M-LED、BX51、BX61M、BX60、BX61
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.002
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル幅(mm)155
耐荷重(N)29.4
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(オリンパス)BH2
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.002
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
モータにドライバ・コントローラ・エンコーダ一体型のクールマッスルCM1を搭載しています。
RS-232Cにより、専門のプログラミング言語でモータへのプログラム、またダイレクトモードでの駆動が可能です。
顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。
標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
移動方向XY軸2方向
送りねじリード(mm)1
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のガラスプレートです。標準付属のアルミプレートと交換することにより透過照明に対応いたします。
RoHS指令(10物質対応)対応
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合6、8インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
￥52,980
税込￥58,278
50日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合4、5、6インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合3、4インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通の標準付属アルミプレートです。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
RoHS指令(10物質対応)対応
『自動ステージ』には他にこんなカテゴリがあります
- Xステージ(自動)
- XYステージ(自動)
- Zステージ(自動)
- 回転ステージ(自動)
- 傾斜ステージ(自動)
- コントローラドライバ
- ドライバ
- 接続ケーブル
- 顕微鏡用XYステージ
- アクチュエータ
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