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アルミプレート中央精機￥9,498～税込￥10,448～
1個
10日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通の標準付属アルミプレートです。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
RoHS指令(10物質対応)対応
マイクロスキャニングステージ中央精機￥999,800税込￥1,099,780
1台
20日以内出荷
6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。※ 透過照明で観察できる範囲は移動量よりも狭くなります。外観図のテーブル透過穴をご参照ください。
種類xyステージ繰返し精度(mm)±0.002分解能(mm)0.002適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3耐荷重(N)49(5kgf)RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向送り方式ボールねじ移動ガイドV溝とクロスローラ移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.015(垂直)移動量(mm)XY軸±75使用モータPKP523N12A送りねじリード(mm)1ロストモーション(mm)0.003最高速度(mm/s)40(20000pps時)原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
マイクロスキャニングステージ中央精機￥1,798,000税込￥1,977,800
1台
30日以内出荷
移動量300mm×300mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
材質アルミ合金質量(kg)10.3(アルミプレートを除く)種類xyステージ表面処理黒アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.002分解能(mm)0.002適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3耐荷重(N)49(5kgf)RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向送り方式ボールねじ移動ガイドV溝とクロスローラ移動量(mm)XY軸±150使用モータPKP523N12A送りねじリード(mm)1ロストモーション(mm)0.003最高速度(mm/s)40(20000pps時)原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
マイクロスキャニングステージ中央精機￥1,298,000税込￥1,427,800
1台
20日以内出荷
8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
材質アルミ合金質量(kg)7.3(アルミプレートを除く)種類xyステージ表面処理黒アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.002分解能(mm)0.002適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3耐荷重(N)49(5kgf)RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向送り方式ボールねじ移動ガイドV溝とクロスローラ移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.025(垂直)移動量(mm)XY軸±100使用モータPKP523N12A送りねじリード(mm)1ロストモーション(mm)0.003最高速度(mm/s)40(20000pps時)原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
マイクロスキャニングステージ中央精機￥769,800税込￥846,780
1台
20日以内出荷
移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
付属品アルミプレート、アダプタ、検査合格、六角穴付きボルト(アダプタ取付用)M3 4本材質アルミ合金質量(kg)3.3(アルミプレートを除く)種類xyステージ表面処理黒アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.002分解能(mm)0.002適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3耐荷重(N)29.4(3kgf)RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向送り方式ボールねじ移動ガイドV溝とクロスローラ移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.015(垂直)移動量(mm)X軸±50、Y軸±25使用モータPKP523N12A送りねじリード(mm)1ロストモーション(mm)0.002最高速度(mm/s)40(20000pps時)原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
マイクロスキャニングステージ中央精機￥899,800税込￥989,780
1台
20日以内出荷
4インチ対応の移動量100mm×100mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
仕様●ステージ面(mm)：205×183●リミットセンサ：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●位置決め精度(1/10ストローク)(mm)：X軸0.010、Y軸0.010●位置決め精度(フルストローク)(mm)：X軸0.040、Y軸0.040備考QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4)：36種類xyステージ繰返し精度(mm)±0.002分解能(mm)0.002適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3耐荷重(N)29.4(3kgf)RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向送り方式ボールねじ移動ガイドV溝とクロスローラ移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.015(垂直)移動量(mm)XY軸±50使用モータPKP523N12A送りねじリード(mm)1ロストモーション(mm)0.003最高速度(mm/s)40(20000pps時)原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
マイクロスキャニングステージ中央精機￥669,800税込￥736,780
1台
20日以内出荷
移動量50mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
付属品アルミプレート、アダプタ、検査合格、六角穴付きボルト(アダプタ取付用)M3 4本材質アルミ合金質量(kg)2.7(アルミプレートを除く)種類xyステージ表面処理黒アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.002分解能(mm)0.002適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3耐荷重(N)29.4(3kgf)RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向送り方式ボールねじ移動ガイドV溝とクロスローラ移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.008移動量(mm)XY軸±25使用モータPKP523N12A送りねじリード(mm)1ロストモーション(mm)0.002最高速度(mm/s)40(20000pps時)テーブル幅(mm)155テーブル長さ(mm)155原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
ガラスプレート中央精機￥9,498～税込￥10,448～
1個
15日以内出荷から20日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のガラスプレートです。標準付属のアルミプレートと交換することにより透過照明に対応いたします。
RoHS指令(10物質対応)対応
ウェハホルダ 8インチ，300mm用中央精機￥71,980税込￥79,178
1個
20日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合8インチ、300mm用RoHS指令(10物質対応)対応
ウェハホルダ 6，8インチ用中央精機￥52,980税込￥58,278
1個
50日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合6、8インチ用RoHS指令(10物質対応)対応
ウェハホルダ 4，5，6インチ用中央精機￥42,980～税込￥47,278～
1個
20日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合4、5、6インチ用RoHS指令(10物質対応)対応
ウェハホルダ 3，4インチ用中央精機￥39,980～税込￥43,978～
1個
20日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合3、4インチ用RoHS指令(10物質対応)対応
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