シグマ光機のXYZ回転ステージ

6軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ、Z軸フラットスチールステージ、θ軸粗微動ステージ、αβ軸小型ゴニオステージ、αβ軸ゴニオステージを組合せたものです。

5軸方向の微調整用精密ステージです。

4軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ・Z軸フラットスチールステージ・θ軸粗微動ステージを組合せたものです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

アリ溝ガイド・ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要な場合に適したステージです。

アリ溝ガイド・ネジ送り調整方式を使用した動作頻度が少なく微細な調整用途に適したXYZ軸ステージです。

突起部を省き小スペース型で動作頻度が少なく微細な調整用途に適した、テーブル面が水平な調整用XYZ軸ステージです。

クロスローラガイドのXY軸ステージと垂直タイプのZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。