グローブバルブ

空気圧シリンダー式ベローズバルブ・空気圧シリンダー式ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界実績No.1のベローズバルブです。ステンレス鋼製・1MPaノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別出来ます。アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O.、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・HT・PI・PAもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

NEW MEGA-ONE LA・新タイプ・低圧エアオペレーションバルブ・NEW MEGA-ONE LA は、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-ONE LAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました。アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。優れた耐久性400万回以上(Φ6.35)ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようキャップ上部で、簡単に識別できます。良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラムシート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

MEGA-ONE LA・MEGA-ONE LAは、各種半導体装置・設備などの超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別できます。アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O.、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.48cc)シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定されています。接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。

ベローズバルブ (丸ハンドル)・ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界No.1のベローズバルブです。ステンレス鋼製・1MPa洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。