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メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
用途半導体製造装置の超高純度ガスおよび可燃性、毒性ガスライン用 材質(本体)SUS316L 最高使用圧力(MPa)16.2 RoHS指令(10物質対応)対応
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