商品豆知識
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表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mA
再現性±0.2%FS
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA
流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)
サイズ127×38×100mm
フルスケール流量100SCCM
応答時間≦2sec
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
材質(シール)フッ素ゴム
耐圧力(MPa)1
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mA
サイズ127×38×100mm
フルスケール流量50SCCM
再現性±0.2%FS
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA
流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)
応答時間≦2sec
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
材質(シール)フッ素ゴム
耐圧力(MPa)1
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mA
サイズ127×38×100mm
材質(シール)フッ素ゴム
再現性±0.2%FS
応答時間≦2sec
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA
耐圧力(MPa)1
流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
フルスケール流量20SCCM
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mA
サイズ127×38×100mm
材質(シール)フッ素ゴム
再現性±0.2%FS
応答時間≦2sec
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA
耐圧力(MPa)1
流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
フルスケール流量10SCCM
工場における様々な水管理に最適。可動部が無く、ゴミ詰まりの心配がない。表示がデジタルで視認性も抜群
測定流体水、排水
仕様ダンピング(63%応答)：5sec(0.5sec、1sec、10sec、30sec、100sec、200secも設定可)
付属品取付セット(ボルト・ナット)
種別Water
材質ADC12、強化ガラス(接液部変換器部)・フッ素樹脂(接液部ライニング)・SUS316(接液部計測管)・EPDM(接液部ガスケット)
電源(V)24DC±10%
保護構造IP64
消費電力(W)約6(電源供給電流250mA、電源投入時突入電流ピーク値10A以下)
精度フルスケール流量設定が、3m/s相当流量以上の場合±1.0%RD：フルスケール設定値の1/2～フルスケール設定値、±0.5%FS：ゼロカット流量～フルスケール設定値の1/2のフルスケール流量設定が、3m/s相当流量未満の場合(3m/s相当流量が100%FSとなります) ±1.0%RD：3m/s相当流量の1/2～3m/s相当流量、±0.5%FS：ゼロカット流量～3m/s相当流量の1/2
表示積算値：999999.999m3(総積算値、トリップ積算、逆流積算値、正逆合算値)・瞬時値：19999L/min・その他：警報(メモリー異常、逆流、過大ノイズ、乾水、電源電圧低下、漏水、過電流)、流速L/s、インジケーター(10段階表示)
アナログ出力1点、4～20mA
接続ウエハ
最高圧力使用(MPa)50～150mm：2、200mm：1
導電率20μS/cm以上
材質(ハウジング)SUS304
表示器128×64、フルドット液晶、LED白色バックライト付き
材質(電極)SUS316(接液部)
流体温度範囲(℃)0～60凍結しないこと
環境温度範囲(℃)-10～55
メモリバックアップ積算値：2分間隔、設定値：設定変更時
使用周囲湿度(%RH)5～95凍結・結露無きこと、直射日光は避けること
スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。0.5sec以内の高速制御が可能です。流量制御値及び積算機能を搭載しています。消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。
適合流体N2/Air
材質(ボディ)樹脂(禁油なし)
エコ商品
1sec以下の高速応答。流量制御・モニタリングソフト。多種通信ほ方法に対応
用途マスフローコントローラは質量流量(Mass Flow)制御機器です。従来より、流体の流量計測・制御では「体積流量計」が用いられてきました。しかし、体積流量は温度・圧力の影響を受けるため、より精度良く流量計測・制御を行なう必要がある場合には、温度・圧力の影響を受けにくい「質量流量計(Mass Flow)」が用いられています。
通信方式(VDC)アナログ:0～5
作動圧力(kpa)(最大)400
電源電圧±15
使用温度範囲(℃)5～50
材質Oリング：FKM
バルブ種類NC
継手接続：1/4F900
RoHS指令(10物質対応)対応
表示設定器付マスフローコントローラです。
内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。
専用AC電源アダプタPSK-85により、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様シグナル/0-5V、通信/RS485、校正温度/20℃
流体N2
接続RC1/4
表示器一体型
液体用の直管型超音波流量計です。接液部には耐薬品性に優れたNewPFAを採用し流路はシンプルなストレート構造で管内に障害物がなくメンテナンスが容易です。表示器一体型なので電源の結線のみで流量計測が可能であり、F.S.5L/MINまでの流量を高精度に測定することができます。
適合流体水、純水(気泡を含まないこと)
1個
￥109,800
税込￥120,780
32日以内出荷
液体の流量測定・監視に最適な小型カルマン渦流量計です。接液部オールテフロンです。
用途接液部オールテフロン、オーリングレスで、半導体プロセスの液体流量監視に最適です。
適合流体超純水・薬液等液体
規格IP64(JIS C0920、防まつ構造)
電源2～24VDC
精度±3%F.S.(25℃)
使用温度(℃)液体：0～90(凍結、沸騰なきこと)
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
周囲湿度(%RH)5～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)0～50
材質(接液部)New PFA、Super PFA
炭酸ガス(CO2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体炭酸ガス(CO2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
水素ガス(H2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体水素ガス(H2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
酸素ガス(O2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体酸素ガス(O2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
空気(AIR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体空気(AIR)
ヘリウムガス(HE)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体ヘリウムガス(HE)
アルゴンガス(AR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体アルゴンガス(AR)
適合流体空気/窒素、アルゴン、炭酸ガス(CO2)、酸素(酸素形番のみ対応)、都市ガス13A(LNGベース、45/46MJ/m3)、メタン 100%、プロパン 100%、ブタン 100%、アンモニア(準標準ガス形番のみ対応)、アセチレン(準標準ガス形番のみ対応)
絶縁抵抗(MΩ)100以上(DC500Vメガーにて)
電源電圧(V)DC24±10%
使用温度範囲(℃)-10～50(ただし結露および氷結のないこと)
耐電圧(V)AC500 1分間
材質(ケース)PBT(自然色)
耐衝撃(m/s2)294(非繰り返し)
耐振動(m/s2)88.3(複振幅1.5mm、10～55Hz)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
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