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エコロジープロダクト
商品豆知識
デジタルマスフローコントローラー 表示設定器一体型 200SCCM C2005シリーズエフコン￥229,800税込￥252,780
1個
48日以内出荷
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mAサイズ127×38×100mmフルスケール流量200SCCM再現性±0.2%FS通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)応答時間≦2secバルブ種類NC(ノーマルクローズ)材質(シール)フッ素ゴム耐圧力(MPa)1
デジタルマスフローコントローラー 表示設定器一体型 100SCCM C2005シリーズエフコン￥229,800税込￥252,780
1個
43日以内出荷から48日以内出荷
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mA再現性±0.2%FS通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)サイズ127×38×100mmフルスケール流量100SCCM応答時間≦2secバルブ種類NC(ノーマルクローズ)材質(シール)フッ素ゴム耐圧力(MPa)1
デジタルマスフローコントローラー 表示設定器一体型 50SCCM C2005シリーズエフコン￥229,800税込￥252,780
1個
43日以内出荷から48日以内出荷
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mAサイズ127×38×100mmフルスケール流量50SCCM再現性±0.2%FS通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)応答時間≦2secバルブ種類NC(ノーマルクローズ)材質(シール)フッ素ゴム耐圧力(MPa)1
デジタルマスフローコントローラー 表示設定器一体型 20SCCM C2005シリーズエフコン￥229,800税込￥252,780
1個
48日以内出荷
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mAサイズ127×38×100mm材質(シール)フッ素ゴム再現性±0.2%FS応答時間≦2sec通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA耐圧力(MPa)1流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)バルブ種類NC(ノーマルクローズ)フルスケール流量20SCCM
デジタルマスフローコントローラー 表示設定器一体型 C2005シリーズエフコン￥229,800税込￥252,780
1個
48日以内出荷
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mAサイズ127×38×100mm材質(シール)フッ素ゴム再現性±0.2%FS応答時間≦2sec通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA耐圧力(MPa)1流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)バルブ種類NC(ノーマルクローズ)フルスケール流量10SCCM
電磁流量計 WXシリーズ愛知時計電機￥309,800～税込￥340,780～
1個
22日以内出荷から31日以内出荷
工場における様々な水管理に最適。可動部が無く、ゴミ詰まりの心配がない。表示がデジタルで視認性も抜群
測定流体水、排水仕様ダンピング(63%応答)：5sec(0.5sec、1sec、10sec、30sec、100sec、200secも設定可)付属品取付セット(ボルト・ナット)種別Water材質ADC12、強化ガラス(接液部変換器部)・フッ素樹脂(接液部ライニング)・SUS316(接液部計測管)・EPDM(接液部ガスケット)電源(V)24DC±10%保護構造IP64消費電力(W)約6(電源供給電流250mA、電源投入時突入電流ピーク値10A以下)精度フルスケール流量設定が、3m/s相当流量以上の場合±1.0%RD：フルスケール設定値の1/2～フルスケール設定値、±0.5%FS：ゼロカット流量～フルスケール設定値の1/2のフルスケール流量設定が、3m/s相当流量未満の場合(3m/s相当流量が100%FSとなります) ±1.0%RD：3m/s相当流量の1/2～3m/s相当流量、±0.5%FS：ゼロカット流量～3m/s相当流量の1/2表示積算値：999999.999m3(総積算値、トリップ積算、逆流積算値、正逆合算値)・瞬時値：19999L/min・その他：警報(メモリー異常、逆流、過大ノイズ、乾水、電源電圧低下、漏水、過電流)、流速L/s、インジケーター(10段階表示)アナログ出力1点、4～20mA接続ウエハ最高圧力使用(MPa)50～150mm：2、200mm：1導電率20μS/cm以上材質(ハウジング)SUS304表示器128×64、フルドット液晶、LED白色バックライト付き材質(電極)SUS316(接液部)流体温度範囲(℃)0～60凍結しないこと環境温度範囲(℃)-10～55メモリバックアップ積算値：2分間隔、設定値：設定変更時使用周囲湿度(%RH)5～95凍結・結露無きこと、直射日光は避けること
瞬時・積算流量計愛知時計電機￥69,980税込￥76,978
1個
当日出荷
リチウム電池を内蔵のため、電源不要。指示部は読みやすい方向に回転可能。瞬時流量と積算流量を1台で表示
アズワン品番62-3788-70
マスフローコントローラフジキン1個
欠品中
1sec以下の高速応答流量制御・モニタリングソフト多種通信ほ方法に対応
用途マスフローコントローラは質量流量(Mass Flow)制御機器です。従来より、流体の流量計測・制御では「体積流量計」が用いられてきました。しかし、体積流量は温度・圧力の影響を受けるため、より精度良く流量計測・制御を行なう必要がある場合には、温度・圧力の影響を受けにくい「質量流量計(Mass Flow)」が用いられています。通信方式(VDC)アナログ:0～5作動圧力(kpa)(最大)400電源電圧±15使用温度範囲(℃)5～50材質Oリング：FKMバルブ種類NC継手接続：1/4F900RoHS指令(10物質対応)対応
表示器付マスフローコントローラ MODEL 8500MC SERIES + 専用AC電源アダプタコフロック￥159,800税込￥175,780
1個
76日以内出荷
表示設定器付マスフローコントローラです。
内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。
専用AC電源アダプタPSK-85により、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様シグナル/0-5V、通信/RS485、校正温度/20℃流体N2接続RC1/4表示器一体型
超音波流量計 FML-500 SERIESコフロック￥109,800税込￥120,780
1個
32日以内出荷
液体用の直管型超音波流量計です。接液部には耐薬品性に優れたNewPFAを採用し流路はシンプルなストレート構造で管内に障害物がなくメンテナンスが容易です。表示器一体型なので電源の結線のみで流量計測が可能であり、F.S.5L/MINまでの流量を高精度に測定することができます。
適合流体水、純水(気泡を含まないこと)
液体用小型カルマン渦流量計(テフロン) FM31 SERIESコフロック￥89,980～税込￥98,978～
1個
12日以内出荷
液体の流量測定・監視に最適な小型カルマン渦流量計です。接液部オールテフロンです。
用途接液部オールテフロン、オーリングレスで、半導体プロセスの液体流量監視に最適です。適合流体超純水・薬液等液体規格IP64(JIS C0920、防まつ構造)電源2～24VDC精度±3%F.S.(25℃)使用温度(℃)液体：0～90(凍結、沸騰なきこと)再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1周囲湿度(%RH)5～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)0～50材質(接液部)New PFA、Super PFA
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック￥219,800～税込￥241,780～
1式
32日以内出荷
窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体窒素ガス(N2)仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック￥219,800～税込￥241,780～
1式
32日以内出荷
炭酸ガス(CO2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体炭酸ガス(CO2)仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック￥219,800～税込￥241,780～
1式
32日以内出荷
酸素ガス(O2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体酸素ガス(O2)仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック￥219,800～税込￥241,780～
1式
32日以内出荷
空気(AIR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体空気(AIR)
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック￥219,800～税込￥241,780～
1式
32日以内出荷
ヘリウムガス(HE)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体ヘリウムガス(HE)
マスフローメータazbil(旧:山武)￥179,800～税込￥197,780～
1個
61日以内出荷
適合流体空気/窒素、アルゴン、炭酸ガス(CO2)、酸素(酸素形番のみ対応)、都市ガス13A(LNGベース、45/46MJ/m3)、メタン 100%、プロパン 100%、ブタン 100%、アンモニア(準標準ガス形番のみ対応)、アセチレン(準標準ガス形番のみ対応)
デジタルマスフローコントローラー (準標準ガスモデル)azbil(旧:山武)￥329,800～税込￥362,780～
1個
41日以内出荷
ガスの種類空気/窒素(N2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、アンモニア(NH3)、アセチレン(C2H2)
デジタルマスフローコントローラ MQV9500～azbil(旧:山武)￥289,800～税込￥318,780～
1個
31日以内出荷から41日以内出荷
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
デジタルマスフローコントローラ MQV9200～azbil(旧:山武)￥259,800～税込￥285,780～
1個
31日以内出荷
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
デジタルマスフローコントローラ MQV9050～azbil(旧:山武)￥399,800税込￥439,780
1個
41日以内出荷
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
デジタルマスフローコントローラ MQV9020～azbil(旧:山武)￥329,800～税込￥362,780～
1個
31日以内出荷から41日以内出荷
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
デジタルマスフローコントローラ MQV9005～azbil(旧:山武)￥299,800～税込￥329,780～
1個
31日以内出荷
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
デジタルマスフローコントローラ MQV0100～azbil(旧:山武)￥369,800～税込￥406,780～
1個
31日以内出荷
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
デジタルマスフローコントローラ MQV0020～azbil(旧:山武)￥259,800～税込￥285,780～
1個
31日以内出荷から41日以内出荷
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
