小型マスフローコントローラ MF-CHORIBA欠品中
スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。0.5sec以内の高速制御が可能です。流量制御値及び積算機能を搭載しています。消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。
適合流体N2/Air材質接ガス部:ポリアミド樹脂・フッ素ゴム・ステンレス・アルミナ・半導体シリコン・半田接続口径Φ6mm精度±3%F.S.測定対象気体材質(ボディ)樹脂(禁油なし)