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表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥189,800税込￥208,7801式52日以内出荷表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥209,800税込￥230,7801式52日以内出荷表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体CO2表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥139,800税込￥153,7801式52日以内出荷表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥129,800税込￥142,7801式52日以内出荷表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥159,800税込￥175,7801式52日以内出荷表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥139,800税込￥153,7801式52日以内出荷表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体CO2表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥159,800税込￥175,7801式52日以内出荷表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体CO2表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥129,800税込￥142,7801式52日以内出荷表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥129,800税込￥142,7801式52日以内出荷表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥129,800税込￥142,7801式52日以内出荷表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥129,800税込￥142,7801式52日以内出荷表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
VN/VNS専用表示ユニット ASI-100
愛知時計電機￥42,980税込￥47,2781個31日以内出荷表示ユニット ASI-100用途VN/VNSの表示器として使用可能RoHS指令(10物質対応)対応
冷温水用 小型電磁流量センサー
愛知時計電機￥69,980～税込￥76,978～1個31日以内出荷冷温水計測に適した可動部のない電磁式の流量センサーです。安定した計測・再現性をご提供できます。同梱の表示ユニットで流量値の目視確認が可能です。用途冷温水の流量管理等最高使用圧力(MPa)1精度センサー精度(流体温度25℃時・±%RD)：2.5(精度保証最大流量の20～100%)及び0.5(精度保証最大流量の5～20%)使用流体冷温水導電率流体導電率範囲：50μS/cm以上計測対象接液部材質を腐食させない導電性流体(冷温水など)使用周囲温度(℃)‐20～60流体温度範囲(℃)0～60(凍結しないこと)RoHS指令(10物質対応)対応圧力損失(kPa)精度保証最大流量時：20以下商品タイプ表示ユニット無し使用湿度範囲(%RH)35～85
冷温水用 小型電磁流量センサー
愛知時計電機￥109,800～税込￥120,780～1セット31日以内出荷冷温水計測に適した可動部のない電磁式の流量センサーです。安定した計測・再現性をご提供できます。同梱の表示ユニットで流量値の目視確認が可能です。用途冷温水の流量管理等最高使用圧力(MPa)1精度センサー精度(流体温度25℃時・±%RD)：2.5(精度保証最大流量の20～100%)及び0.5(精度保証最大流量の5～20%)測定精度表示ユニット瞬時測定精度(±%RS±digit)：0.02・1、表示ユニット積算測定精度(±%RS±digit)：0.02・1使用流体冷温水導電率流体導電率範囲：50μS/cm以上計測対象接液部材質を腐食させない導電性流体(冷温水など)使用周囲温度(℃)‐20～60流体温度範囲(℃)0～60(凍結しないこと)RoHS指令(10物質対応)対応圧力損失(kPa)精度保証最大流量時：20以下商品タイプ表示ユニットASI-100付使用湿度範囲(%RH)35～85
簡易流量計FM2000シリーズ 外部電源式
日本フイルター￥64,980～税込￥71,478～1台8日以内出荷デジタル表示で見やすいパドル式流量計です。 外部接点(瞬時流量の上限・下限、積算流量の上限)を出力できます。 瞬時流量・積算流量切り替え付きです。用途薬液流量、ろ過流量、循環流量、排水量、その他液体の瞬時・積算による流量管理に使用圧力(MPa)0.25流体温度(℃)0～70セット内容外部電源取り込み用ハーネス材質ポリプロピレン、グラスファイバー測定対象液体適合流体水・薬液(比重1.2以下、粘度20mPa・s以下)
広井式電気流速計 微速
飯塚製作所￥329,800税込￥362,7801個3日以内出荷流量観測における流速測定に使用付属品測桿1m3本、コード3m、方向指示器 、分数ブザー、収納ケース種別微速用寸法(mm)417×100×90質量(kg)1.24電源単4アルカリ乾電池6本レンジ0.03～0.60m/sブザー音1音/1・5・10・20・50・100回転最低水位(mm)50
デジタル流速計 中・高速用
飯塚製作所￥479,800税込￥527,7801個3日以内出荷標準流速計とデジタルメーターのセット 流速・プロペラ回転数・計測時間をデジタル表示。寸法(mm)センサ：120×400質量(kg)センサ：2質量(g)デジタルメーター：660電源単3乾電池4本ケーブル長(m)標準10検出方式電磁素子検出方式寸法(幅W×高さH×奥行D)(mm)デジタルメーター：150×54×170最小単位1mm測定モード10・20・40秒平均流速重錘(kg)4耐圧水深(m)約30測定流速(m/s)センサ： 0.1～0.3→2.8～3.5、デジタルメーター ：0.03～3.5
R3/8"(Φ6mm) スピードコントローラー
エスコ￥2,180税込￥2,3981個翌日出荷材質黄銅使用温度範囲(℃)0-60使用圧力(MPa)0.05～1.0チューブ外径(Φmm)6耐圧(MPa)1.5取付ねじR3/8使用流体圧縮空気
R1/4"(Φ10mm) スピードコントローラー
エスコ￥1,720税込￥1,8921個翌日出荷材質黄銅使用温度範囲(℃)0-60使用圧力(MPa)0.05～1.0チューブ外径(Φmm)10耐圧(MPa)1.5取付ねじR1/4使用流体圧縮空気
R1/8"(Φ 8mm) スピードコントローラー
エスコ￥1,510税込￥1,6611個翌日出荷材質黄銅使用温度範囲(℃)0-60使用圧力(MPa)0.05～1.0チューブ外径(Φmm)8耐圧(MPa)1.5取付ねじR1/8使用流体圧縮空気
デジタルマスフローコントローラー 表示設定器一体型 5SLM C2005シリーズ
エフコン￥229,800税込￥252,7801個48日以内出荷表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mAサイズ127×38×100mm材質(シール)フッ素ゴム再現性±0.2%FS応答時間≦2sec通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA耐圧力(MPa)1流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)バルブ種類NC(ノーマルクローズ)フルスケール流量5SLMデジタルマスフローコントローラー 表示設定器一体型 2SLM C2005シリーズ
エフコン￥229,800税込￥252,7801個48日以内出荷表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mAサイズ127×38×100mm材質(シール)フッ素ゴム再現性±0.2%FS応答時間≦2sec通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA耐圧力(MPa)1流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)バルブ種類NC(ノーマルクローズ)フルスケール流量2SLMデジタルマスフローコントローラー 表示設定器一体型 1SLM C2005シリーズ
エフコン￥229,800税込￥252,7801個48日以内出荷表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mAサイズ127×38×100mm材質(シール)フッ素ゴム再現性±0.2%FS応答時間≦2sec通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA耐圧力(MPa)1流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)バルブ種類NC(ノーマルクローズ)フルスケール流量1SLMデジタルマスフローコントローラー 表示設定器一体型 500SCCM C2005シリーズ
エフコン￥229,800税込￥252,7801個43日以内出荷から48日以内出荷表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mAサイズ127×38×100mm材質(シール)フッ素ゴム再現性±0.2%FS応答時間≦2sec通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA耐圧力(MPa)1流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)バルブ種類NC(ノーマルクローズ)フルスケール流量500SCCMデジタルマスフローコントローラー 表示設定器一体型 200SCCM C2005シリーズ
エフコン￥229,800税込￥252,7801個48日以内出荷表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mAサイズ127×38×100mm材質(シール)フッ素ゴム再現性±0.2%FS応答時間≦2sec通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA耐圧力(MPa)1流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)バルブ種類NC(ノーマルクローズ)フルスケール流量200SCCMデジタルマスフローコントローラー 表示設定器一体型 100SCCM C2005シリーズ
エフコン￥229,800税込￥252,7801個43日以内出荷から48日以内出荷表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mAサイズ127×38×100mm材質(シール)フッ素ゴム再現性±0.2%FS応答時間≦2sec通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA耐圧力(MPa)1流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)バルブ種類NC(ノーマルクローズ)フルスケール流量100SCCMデジタルマスフローコントローラー 表示設定器一体型 50SCCM C2005シリーズ
エフコン￥229,800税込￥252,7801個43日以内出荷から48日以内出荷表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mAサイズ127×38×100mm材質(シール)フッ素ゴム再現性±0.2%FS応答時間≦2sec通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA耐圧力(MPa)1流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)バルブ種類NC(ノーマルクローズ)フルスケール流量50SCCMデジタルマスフローコントローラー 表示設定器一体型 20SCCM C2005シリーズ
エフコン￥229,800税込￥252,7801個48日以内出荷表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mAサイズ127×38×100mm材質(シール)フッ素ゴム再現性±0.2%FS応答時間≦2sec通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA耐圧力(MPa)1流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)バルブ種類NC(ノーマルクローズ)フルスケール流量20SCCM
エア用超音波流量計 TRシリーズ
愛知時計電機￥157,800～税込￥173,580～1個22日以内出荷から40日以内出荷電力量削減対策で、コンプレッサーエアの使用量把握(見える化)に。精製・使用された窒素量の把握に。超音波の特性を活かした広いレンジアビリティ・圧力損失「0」を実現。可動部がないため、ダスト・ミストに強く耐久性にも優れています。10年稼動の内蔵電池タイプと、外部電源タイプ(24VDC)をラインアップ使用圧力(MPa)0～1未満(ゲージ圧)流体温度範囲(℃)-10～60保護構造IP64測定対象気体プリセット機能全積算値リセット、標準工場出荷設定ヘリセット(現地でリセット可能)出力信号パルス(正流・逆流)・アナログ設置場所屋内、屋外取付姿勢水平(LCD表示部が上向き)、または垂直環境温度範囲(℃)-20～70使用周囲湿度(%RH)90以下
電磁流量計 WXシリーズ
愛知時計電機￥359,800～税込￥395,780～1個21日以内出荷から31日以内出荷工場における様々な水管理に最適。可動部が無く、ゴミ詰まりの心配がない。表示がデジタルで視認性も抜群最高圧力使用(MPa)50～150mm：2、200mm：1流体温度(℃)-10～60付属品取付セット(ボルト・ナット)仕様ダンピング(63%応答)：5sec(0.5sec、1sec、10sec、30sec、100sec、200secも設定可)種別Water材質ADC12、強化ガラス(接液部変換器部)・フッ素樹脂(接液部ライニング)・SUS316(接液部計測管)・EPDM(接液部ガスケット)電源(V)24DC±10%保護構造IP64消費電力(W)約6(電源供給電流250mA、電源投入時突入電流ピーク値10A以下)精度フルスケール流量設定が、3m/s相当流量以上の場合±1.0%RD：フルスケール設定値の1/2～フルスケール設定値、±0.5%FS：ゼロカット流量～フルスケール設定値の1/2のフルスケール流量設定が、3m/s相当流量未満の場合(3m/s相当流量が100%FSとなります) ±1.0%RD：3m/s相当流量の1/2～3m/s相当流量、±0.5%FS：ゼロカット流量～3m/s相当流量の1/2表示積算値：999999.999m3(総積算値、トリップ積算、逆流積算値、正逆合算値)・瞬時値：19999L/min・その他：警報(メモリー異常、逆流、過大ノイズ、乾水、電源電圧低下、漏水、過電流)、流速L/s、インジケーター(10段階表示)アナログ出力1点、4～20mA接続ウエハ測定対象液体導電率20μS/cm以上材質(ハウジング)SUS304測定流体水、排水表示器128×64、フルドット液晶、LED白色バックライト付き材質(電極)SUS316(接液部)流体温度範囲(℃)0～60凍結しないこと環境温度範囲(℃)-10～55メモリバックアップ積算値：2分間隔、設定値：設定変更時使用周囲湿度(%RH)5～95凍結・結露無きこと、直射日光は避けること
瞬時・積算流量計
愛知時計電機￥57,980税込￥63,7781個当日出荷リチウム電池を内蔵のため、電源不要。指示部は読みやすい方向に回転可能。瞬時流量と積算流量を1台で表示アズワン品番62-3788-70
小型マスフローコントローラ MF-C
HORIBA(堀場製作所)￥79,980～税込￥87,978～1個38日以内出荷から46日以内出荷スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。0.5sec以内の高速制御が可能です。流量制御値及び積算機能を搭載しています。消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。材質接ガス部：ポリアミド樹脂・フッ素ゴム・ステンレス・アルミナ・半導体シリコン・半田接続口径Φ6mm精度±3%F.S.測定対象気体材質(ボディ)樹脂(禁油なし)適合流体N2/Air
液体用小型カルマン渦流量計(テフロン) FM31 SERIES
コフロック1個欠品中液体の流量測定・監視に最適な小型カルマン渦流量計です。接液部オールテフロンです。用途接液部オールテフロン、オーリングレスで、半導体プロセスの液体流量監視に最適です。規格IP64(JIS C0920、防まつ構造)電源2～24VDC精度±3%F.S.(25℃)使用温度(℃)液体：0～90(凍結、沸騰なきこと)再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1周囲湿度(%RH)5～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)0～50適合流体超純水・薬液等液体材質(接液部)New PFA、Super PFA
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥229,800～税込￥252,780～1式39日以内出荷から49日以内出荷水素ガス(H2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。最大圧力(kPa)入口：500仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.測定方法熱式耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60測定対象気体周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45適合流体水素ガス(H2)バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥229,800～税込￥252,780～1式39日以内出荷から49日以内出荷空気(AIR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。最大圧力(kPa)入口：500材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM(オプションNBR or CR)測定方法熱式保存温度(℃)-10～60測定対象気体許容周囲温度(℃)5～45適合流体空気(AIR)
