アウトガスの排出量を極端に抑え、クリーンルーム内での使用を可能にした防振ゴムパッドです。※EPDMゴムを原料に、低アウトガス製品技術により排出ガスを100μg/gまで低減することに成功しました。※40Hzでは伝播振動タテ成分、ヨコ成分共に0.1M/S2以下を確認。20Hz前後の共振も設置量を適切にすることにより、発現を回避することができます。
用途クリーンルームや研究室、病院などで機器から発せられる振動の吸収除去。
材質EPDM
厚さ(mm)20
硬度60°(アスカーA硬度計にて測定)
アウトガスの排出量を極端に抑え、クリーンルーム内での使用が可能です。
材質EPDMゴム
厚さ(mm)20
【高い耐熱性】 発熱線を保持する絶縁体に、高耐熱性の特殊ポリイミドフィルムを使用しているため、常用250℃までの使用が可能なヒーターです。、【均一な温度分布】 箔状の発熱線がヒーター面上に均等に配置され、ヒーター表面積に占める発熱面積が大きいため、加熱ムラが少なく、熱効率性が高いヒーターです。、【環境対応】 薄いヒーターの特長を生かした端子構造の製法開発により、リード線と端子部の接続はハンダ方式ではなく、鉛レスを実現した、環境に優しいエコロジーヒーターです。、【低アウトガス】 絶縁体の貼り合わせに接着剤を一切使用していないため、アウトガスの発生が非常に少ないヒーターです。また、シロキサンガスが発生しないので、その発生を嫌う環境でも使用可能です。、【速い昇温レスポンス】 絶縁体の厚みが0.2mm以下と非常に薄く、熱容量が小さいため、被加熱物の昇温レスポンスが特に速いヒーターです。
優れた耐圧性と耐薬品性、高い寸法精度。難燃性に優れています(UL94 V-O 低アウトガス)。高温時の耐酸、耐アルカリ性に優れています。加水分解安定性に優れており、高温・高圧の水中でも化学的影響を受けません。
アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。
独自のクッション構造により、落下・輸送・振動に強い構造となっております。
気密性に優れています。
収納数25枚
ウエハを清浄に搬送する枚葉タイプです。
アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。
積層高さもコンパクトです。
低汚染を追求した材質で製造されています。
トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。
SS300はガスケットを有し、帯電防止性も品揃えしています。
SS300セットはパッキン付きですので、気密性に優れています。
セット内容本体・カバー・スプリング(各1枚)
VOCガス等を吸着しにくく、アウトガスが少ない膜材を使用。有機溶剤だけでなく、水素・ヘリウム等の低分子量ガスにも優れたガスバリア性を有しています。
フォトレジストやその他ファインケミカルのろ過に適用
親水性ナイロン66メンブラン
Advanced Pleat Technology(TM)(APT(TM))構造
大きなろ過面積
優れたゲル状異物除去能力
アウトガスとマイクロバブルの発生を低減
高流量・低圧力損失・ロングライフ
低コスト
低溶出カートリッジ
用途各種フォトレジスト、アルコール、アルカリ溶液、現像液、エッチング液、剥離液、ソルベント
最高使用温度(℃)50
材質(ろ材)ナイロン66
材質(構成パーツ)HDPE
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