進化を続ける半導体産業の基盤であるウェハをクリーンかつ安全に輸送する容器です。有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強いです。サンプルキープ用としても活躍します。
材質ポリカーボネート、エラストマー
進化を続ける半導体産業の基盤であるウエハをクリーンかつ安全に輸送する容器です。有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強いです。サンプルキープ用としても活躍します。
材質ポリカーボネート、エラストマー
タイプ枚葉タイプ
進化を続ける半導体産業の基盤であるウェハをクリーンかつ安全に輸送する容器です。有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強いです。低有機汚染性能を追求したモデルです。
材質ポリカーボネート、エラストマー
収納枚数(枚)25
ステンレス(SUS304)塗装仕上で耐久性に優れています。水槽内部にはヒーター・センサー等の突起が一切ありません。温調精度の高いPID制御を採用しています。水槽には継ぎ目が無く、R加工していますので、掃除がしやすく、また水漏れの心配がありません。
材質(本体)ステンレス(SUS304)焼付塗装仕上げ
センサーK型熱電対
安全装置温調基盤側警報(ヒーター断線・センサ断線)、温度過昇防止スイッチ、過電流ブレーカー
ヒーターマイカヒーター
温度調節精度±1℃
電源コード1.4m 3Pプラグ付き
温度調節PID制御、SSR出力
温度設定範囲(℃)室温+5~80
材質(水槽)ステンレス(SUS304)
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