4ポールモーター採用で軽量化を実現
真空計搭載
付属品真空ポンプオイル、径変換アダプタ(口径7mm)
寸法(mm)93×240×200
質量(kg)約5.5
電源(V)AC100(50/60Hz)
回転数(min-1[r.p.m])50Hz：1430・60Hz：1820
排気速度(50/60Hz)(L/min)35/42
機構真空オイル逆流防止機構(電磁弁)
到達真空度(Pa)約1
ローターツーステージ
1個
￥43,600
税込￥47,960
8日以内出荷
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