CADデータあり
CADデータあり
・クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。
手軽にクリーンエアが得られます。
・ろ過度：0.01μm(捕集効率99.99%)。
・流体接触部：ノングリース、シリコンフリー。
・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
・24種類の組合せが可能。
注)入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1～1.6.1相当
フィルター(F)フィルタ付
CADデータあり
・クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。
手軽にクリーンエアが得られます。
・ろ過度：0.01μm(捕集効率99.99%)。
・流体接触部：ノングリース、シリコンフリー。
・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
・24種類の組合せが可能。
注)入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1～1.6.1相当
CADデータあり
CADデータあり
・配管工数削減/省スペース
・各機器をコンパクトに一体化
・短ピッチ取付可能
圧力の集中管理がコンパクトに実現
・接流体部：ノングリース
CADデータあり
CADデータあり
・配管工数削減/省スペース
・各機器をコンパクトに一体化
・短ピッチ取付可能
圧力の集中管理がコンパクトに実現
・接流体部：ノングリース
CADデータあり
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