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乾燥空気、N2、Ar、CO2
1台で幅広い流量の計測が可能
レンジアビリティ 100：1、最小設定単位 0.01L/min
耐ドレン・耐異物性向上
小型・軽量 質量：27.3%低減(55g→40g)
低消費電流：35mA以下
ノングリース
IO-Link対応
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