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ファインレベルスイッチ KML502シリーズ(単品)CKD￥34,650～税込￥38,115～
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設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。
用途薬液槽の液面検出に半導体製造、化学プロセスに最適付属品ハウジング、端子質量(kg)0.14使用温度(℃)【供給ガス】5～60繰返し精度(mm)±1使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガスチューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4材質(ボディ)PPS周囲温度(℃)5～60チューブ長さ(m)5以内流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時)材質(ダイアフラム)FKM，FFKM応差(mm)2応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
