空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。
レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。
タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。
自己診断機能。
CEマーキング、ULに適合。
用途循環液温調装置
・ペルチェ素子を使った、薬液の直接温調用熱交換器。
・フッ素樹脂熱交換器で多様な薬液に対応可。
・UL規格適合、CEマーキング。
電源単相AC180~242V(50/60Hz)
冷却方式ペルチェ素子
・高精度温調が必要な用途に。
・ペルチェ素子による、ノンフロン高精度温調機。
・シンプルな構造で高信頼性。
・小型、低振動で装置内への組込みが容易。
・ワイドな電源電圧に対応可。
・UL規格適合、CEマーキング。
冷却能力(W)1200
ねじの種類Rc
電源単相AC100~240V(50/60Hz)
冷却方式電子冷熱素子
・高精度温調が必要な用途に。
・ペルチェ素子による、ノンフロン高精度温調機。
・シンプルな構造で高信頼性。
・小型、低振動で装置内への組込みが容易。
・ワイドな電源電圧に対応可。
・UL規格適合、CEマーキング。
ねじの種類Rc
電源単相AC100~240V(50/60Hz)
冷却方式電子冷熱素子
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
ねじの種類Rc
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
冷却能力(kW)10
ねじの種類Rc
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)15
ねじの種類Rc
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
ねじの種類Rc
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)30
ねじの種類Rc
冷却能力(W)320
ねじの種類Rc
電源単相AC200~220V(50/60Hz)
冷却方式電子冷熱素子
・ノンフロン。・CO2冷媒を採用。・GWPを大幅に削減。・GWP=1 各国の冷媒規制に対応可。 EU冷媒規制 :GWP150以上。 米国冷媒規制 :GWP700以上。 カリフォルニア州冷媒規制 :GWP750以上。 ※GWPは地球温暖化係数を示します。数値はIPCC AR4基準とします。・空輸可能。・フロン回収、廃棄コスト不要。・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要
用途ポンプインバータ&冷凍機インバータタイプ 循環液温調装置
質量(kg)175±5
外形寸法(mm)380×870×950
適合規格SEMI、CE/UKCA、UL
電源電圧3相AC200/200~208±10%(50/60Hz)
冷却方式水冷冷凍式
使用冷媒R744(CO2、GWP:1)
温度制御方式PID制御
設定温度範囲-20~90℃/(温度安定性)±0.1
周囲温度(℃)10~35
冷却能力(kW)10
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(5.92MB)
取扱説明書取扱説明書(8.21MB)
運転電流(A)最大26
低GWP冷媒対応。GWP:146※ ※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84基準。EU冷媒規制:GWP 150以上。米国冷媒規制:GWP 700以上。カリフォルニア州冷媒規制:GWP 750以上。環境対応冷媒R454C (空輸不可)。1台のチラーで2系統を個別に温調可能。省スペース/省配線。タッチパネル。テンキー入力可能。アラーム内容、メンテナンス時期のお知らせを表示。温度波形グラフ表示可能
用途レーザー用デュアルタイプ
付属品取扱説明書(設置・運転編)2冊(和文/英文各1冊)、CH1用パーティクルフィルタセット1式、CH2用パーティクルフィルタセット1式、アンカーボルト固定金具2個(M8ボルト6個含む)
電源(V)三相AC380~415(50Hz)/三相AC380~480(60Hz)
最大流量(L/min)CH1:130、CH2:16
最大揚程(m)CH1:55、CH2:49
定格流量(L/min)CH1:45(0.45MPa)、CH2:10(0.45MPa)
使用冷媒R454C(HFO/HFC,GWP:146)
設定温度(℃)CH1:5~35、CH2:10~40
RoHS指令(10物質対応)対応
2系統を個別に温調可能でコンパクト、電源1系統の配線で2系統の温調が可能(配線工数削減)、消費電力17%削減
冷却能力(kW)9.5(CH1,2合計)
・ノンフロン。・CO2冷媒(R744)対応。・GWPを大幅に削減。・GWP=1 各国の冷媒規制に対応可。 EU冷媒規制 :GWP150以上。 米国冷媒規制 :GWP700以上。 カリフォルニア州冷媒規制 :GWP750以上。 ※GWPは地球温暖化係数を示します。数値はIPCC AR4基準とします。・空輸可能。・フロン回収、廃棄コスト不要。・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要
冷却方式水冷冷凍式
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(6.03MB)
取扱説明書(7.31MB)
・低GWP冷媒対応。 GWP:148※ ※ IPCC AR4基準。 EU冷媒規制:GWP 150以上。 米国冷媒規制:GWP 700以上。 カリフォルニア州冷媒規制:GWP 750以上。・環境対応冷媒R454C (空輸不可)。・DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。
用途ポンプインバータ&冷凍機インバータタイプ
質量(kg)165±5
タイプ循環液:60%エチレングリコール水溶液
種類完全フッ素化液 -20~40℃:Fluorinert(TM)FC-3283 GALDEN(R)HT135 20~90℃:Fluorinert(TM)FC-40 GALDEN(R)HT200
温度(℃)周囲:10~35
チャンネル数1チャンネル
冷却方式水冷冷凍式
使用冷媒R454C(HFO/HFC,GWP:148)
設定温度(℃)-20~90/温度安定性:±0.1
温度制御方式PID制御
高度(m)1,000以下
周囲温度(℃)30~70
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(3.81MB)
冷却能力10kW
取扱説明書取扱説明書(4.82MB)
冷媒封入量(kg)1.5
1個
¥4,998,000
税込¥5,497,800
60日以内出荷
・低GWP冷媒対応。 GWP:148※ ※ IPCC AR4基準。 EU冷媒規制:GWP 150以上。 米国冷媒規制:GWP 700以上。 カリフォルニア州冷媒規制:GWP 750以上。・環境対応冷媒R454C (空輸不可)。・DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。
用途ポンプインバータ&冷凍機インバータタイプ
質量(kg)165±5
種類完全フッ素化液 -20~40℃:Fluorinert(TM)FC-3283 GALDEN(R)HT135 20~90℃:Fluorinert(TM)FC-40 GALDEN(R)HT200
温度(℃)周囲:10~35
チャンネル数1チャンネル
冷却方式水冷冷凍式
使用冷媒R454C(HFO/HFC,GWP:148)
設定温度(℃)-20~90/温度安定性:±0.1
温度制御方式PID制御
高度(m)1000以下
周囲温度(℃)30~70
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(3.81MB)
冷却能力10kW
取扱説明書取扱説明書(4.82MB)
冷媒封入量(kg)1.5
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