CADデータあり
・真空環境内(1.3×10-4Pa)での搬送に使用可能なエアシリンダ。
・装置のコンパクト化・シンプル化
真空チャンバ内に設置可能なため、搬送システムのコンパクト化、シンプル化に貢献します。
作動方式複動
CADデータあり
・クリーン環境内での低発塵搬送。
・シリンダチューブ外周面の非接触構造およびステンレス製リニアガイド(特殊処理)により、高いクリーン度を実現。
・12-CY3B(メーカー従来品)と比べ、真空引きなしでも発塵量を1/20に低減。
チューブ内径(Φmm)32
作動方式複動
CADデータあり
・クリーン環境内での低発塵搬送。
・シリンダチューブ外周面の非接触構造およびステンレス製リニアガイド(特殊処理)により、高いクリーン度を実現。
・12-CY3B(メーカー従来品)と比べ、真空引きなしでも発塵量を1/20に低減。
チューブ内径(Φmm)15
作動方式複動
CADデータあり
・クリーン環境内での低発塵搬送。
・シリンダチューブ外周面の非接触構造およびステンレス製リニアガイド(特殊処理)により、高いクリーン度を実現。
・12-CY3B(メーカー従来品)と比べ、真空引きなしでも発塵量を1/20に低減。
チューブ内径(Φmm)32
作動方式複動
CADデータあり
クリーン環境内での低発塵搬送。
シリンダチューブ外周面の非接触構造およびステンレス製リニアガイド(特殊処理)により、高いクリーン度を実現。
12-CY3B(メーカー従来品)と比べ、真空引きなしでも発塵量を1/20に低減。
チューブ内径(Φmm)15
作動方式複動
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