「真空」のベースとなる油回転式真空ポンプ専用の真空ポンプ油です。蒸気圧が低く、水分離性にも優れていますのでポンプの強い味方です。
用途ロータリーポンプ低～中真空機種、メカニカルブースターポンプ(大気圧～10-2 Torr(1.3Pa))
適合範囲ポンプ
仕様水分離性(54℃)/(40-40-0)5分以下蒸気圧(50℃)/1×10-4 Torr以下、1.3×10-2Pa以下
流動点(℃)-10
危険等級Ⅲ
危険物の類別第四類
危険物の品名第四石油類
銅板腐食(100℃×3H)1以下
危険物の性状非水溶性
アルキルジフェニールエーテルを主成分とする合成潤滑油を、高真空蒸留装置によって精密分溜し、特殊な添加剤を配合した合成系油回転高真空ポンプ油です。
鉱物油系では得られない高い耐活性ガス・耐熱・耐酸化性を有しており、特に半導体製造装置等で使用する活性ガスの排気プロセスに最適です。
低蒸気圧：蒸気圧が低く、到達圧力はポンプの持つ限界まで期待できます。
耐熱・耐酸化性：鉱物油系では得られない耐熱・耐酸化性を有し、長期にわたりご使用いただけます。
耐活性ガス：活性ガスに対しても酸化劣化物の発生を抑え、固着を防止します。
用途電子工業、原子力工業、その他のガス吸引装置。
適合範囲ポンプ
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