アルキルジフェニールエーテルを主成分とする合成潤滑油を、高真空蒸留装置によって精密分溜し、特殊な添加剤を配合した合成系油回転高真空ポンプ油です。
鉱物油系では得られない高い耐活性ガス・耐熱・耐酸化性を有しており、特に半導体製造装置等で使用する活性ガスの排気プロセスに最適です。
低蒸気圧：蒸気圧が低く、到達圧力はポンプの持つ限界まで期待できます。
耐熱・耐酸化性：鉱物油系では得られない耐熱・耐酸化性を有し、長期にわたりご使用いただけます。
耐活性ガス：活性ガスに対しても酸化劣化物の発生を抑え、固着を防止します。
用途電子工業、原子力工業、その他のガス吸引装置。
適合範囲ポンプ
アルキルジフェニールエーテルを主成分とする合成潤滑油を、高真空蒸留装置によって精密分溜し特殊な添加剤を配合した合成系油回転高真空ポンプ油です。
鉱物油系では得られない高い耐活性ガス・耐熱・耐酸化性を有しており、特に半導体製造装置等で使用する活性ガスの排気プロセスに最適です。
用途適用ポンプ(すべての回転式ポンプ)電子工業、原子力工業、その他のガス吸引装置特に、粘度が低下する塩素系ガスに
ISO粘度グレード100
適合範囲ポンプ
仕様【離水度】40-40-0(5以下)、【熱安定性】170℃-24h合格
容量(L)18
引火点(℃)285
流動点(℃)-15以下
動粘度(mm2/s)95/40℃
危険物の類別指定可燃物
危険物の品名可燃性液体類
密度(g/cm3 at15℃)0.9
色(ASTM)L1.0
蒸気圧(Pa[Torr])【50℃】4×10-5以下(3×10-7)
1缶(18L)
￥139,800
税込￥153,780
6日以内出荷
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