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高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプで、10-5Paが安価に得られます。熱せられた拡散オイルがノズルから噴射されることにより発生する超音速のジェット噴流によって、高真空域まで排気します。単独運転はできず、油回転真空ポンプをバックポンプとして、組合せて使用します。なお、組合せて排気セットとした製品は真空装置内の高真空排気装置をご覧ください。

小型軽量=持ち運びに便利なコンパクトタイプ。 低音低振動=精密工作仕上げのため極小です。 取扱い簡易=100 V 電源でどこでもすぐに使用可能。 ベルトレス=モータ直結のため装置への組込みが容易。

クリーンS処理。このベルト駆動型油回転真空ポンプは、メーカー創業時から製造しているタイプであり、使いやすさ等お客様の立場に立った改良を加えながら、現在もメーカー主力ポンプの一翼を担っている信頼性の高いポンプです。異径プーリーによりポンプ回転数は600min^-1としており、油量も直結型に比べ多く設定しているため、丈夫で長持ちとの定評を得ております。さらに、排気速度は20～1500L/minまでの9アイテム、圧縮方式はシングル/ダブルの2タイプ、スタイルはU/T/B/Pの4タイプと、バラエティーに富んだ機種を擁し、様々な用途、環境に対応可能なシリーズとなっております。

マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できます。 ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し、CEマーキング自己宣言品、TUV、cTUVus認証取得品となります。

電磁石の吸引力とスプリングの復元力により、ピストンがシリンダー内を電源周波数に一致した回数で往復作動します。 無給油で、メンテナンスが容易です。 可搬式。

接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。 ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能。 自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。 大気圧から作動が可能。シンプル構造で、メンテナンスが容易。

オイルの逆流防止機構付です。 ガスバラスト付です。

排気音低騒音タイプです。油漏れ防止のマグネットカップリングを採用しました。

ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。 サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。 シンプル構造でメンテナンスも容易です。

高次元のスペックと堅牢なパーツを使用したフラグシップモデル。到達真空度0.7Pa(5ミクロン)を実現。大型サイトグラスでオイルレベルが簡単に視認可能。

清音タイプとなりオフィスや静かな研究室で使っても運転音が気になりません。真空ポンプから漏れ出る油を処理する必要がありません。装置側に油が逆流して装置を汚す心配がありません。異電圧に別作対応です。

真空排気ラインで発生するポンプからの油の逆拡散を防止し、超高真空ラインにおいては、水分等の吸着により到達圧力の向上に効果を発揮します。油拡散ポンプ排気装置、真空蒸着装置などに数多く採用されています。

ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。 複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。

・単段式のポンプで他のポンプでは排気することが難しい様々なガスも水でシールすることで安定した排気を可能にします。・多少の粉塵にも影響なく排気可能です。・用途例：真空ミキサー 真空蒸留装置 真空滅菌装置 反応槽 乳化装置 容器成型装置 凍結乾燥装置 減圧プレス機 シート成型機 吸着搬送 含侵装置