真空機器 :「ゴムシール」の検索結果
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電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
操作ポート方向フランジ側
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:(-) 内部 1.3 x 10^-10 (FKM)、外部 1.3 x 10^-10 (FKM)
フランジ80
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
操作ポート方向フランジ面:裏
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
操作ポート方向フランジ側
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプCF
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
操作ポート方向フランジ面:裏
1個
¥52,980
税込¥58,278
91日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプCF
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
操作ポート方向フランジ側
1個
¥109,800
税込¥120,780
91日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
操作ポート方向フランジ側
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
操作ポート方向フランジ面:左
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプCF
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
操作ポート方向フランジ側
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
操作ポート方向フランジ側
1個
¥47,980
税込¥52,778
91日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:(-) 内部 1.3 x 10^-10 (FKM)、外部 1.3 x 10^-10 (FKM)
フランジ80
オートスイッチ個数(A) 2ケ付 弁開閉
長寿命:300万回(常温時)
発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応
開口窓寸法(mm)50X336
軸数とシール形式1軸ベローズ
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面右
1個
¥199,800
税込¥219,780
91日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプK(DN)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面左
1個
¥149,800
税込¥164,780
91日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプK(DN)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏
1個
¥149,800
税込¥164,780
91日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面裏
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
操作ポート方向フランジ面裏
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプCF
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
操作ポート方向フランジ面裏
1個
¥109,800
税込¥120,780
91日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプK(DN)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石付)
操作ポート方向フランジ側
1個
¥189,800
税込¥208,780
91日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
操作ポート方向フランジ側
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
操作ポート方向フランジ面左
1個
¥43,980
税込¥48,378
91日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ側
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面左
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプCF
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏
1個
¥199,800
税込¥219,780
91日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面右
1個
¥149,800
税込¥164,780
91日以内出荷
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