ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：(-) 内部 1.3 x 10^-10 (FKM)、外部 1.3 x 10^-10 (FKM)
フランジ80
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：(-) 内部 1.3 x 10^-10 (FKM)、外部 1.3 x 10^-10 (FKM)
フランジ80
オートスイッチ個数(A) 2ケ付 弁開閉
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
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