15ページ目: 真空機器

特に要望の高い300mmウエハーのハンドリングに対し、確実で速い吸着保持力を発揮します。 クリーンな吐き出しで長寿命かつメンテナンスフリーです。

到達圧力(8kPa以下～)での連続運転可能。 運転真空度が高く、電子部品等の小部品の自動機(装着機等)に最適です。

ワークへの追従性と搬送時の姿勢安定化を実現。リップ部のゴム硬度を2種類用意しました。ベローズ(蛇腹)部の段数を2種類用意しました。吸込防止アダプタは球面タイプと平面タイプから選択可能です。吸込防止アダプタはステンレスメッシュ付を選択可能です。

様々な現場でパフォーマンスを発揮するスタンダードモデル。高い真空性能と信頼性のある2ステージローターを搭載。運転停止時のオイルの逆流を防止するオイル逆流防止機能付き。強制的にオイルを循環し、高効率と高耐久性を両立。

ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。

ゲーデ式の回転翼型油回転真空ポンプです。高回転で運転されるモーター直結型ですので、ベルト駆動型に比べよりコンパクトで大きな排気速度が得られる、扱いやすい真空ポンプです。排気速度50～1300(60～1500)L/minまで7機種がラインアップされており、仕様にあわせたモデルの選択が可能です(60Hz)。さらに、2段ローター型の圧縮方式がより高真空での運転を提供します。

ペン型の本体に真空発生器を内蔵し、静電気を嫌う工程に最適な帯電防止タイプです。

リップ部は軟らかく、ベローズ(蛇腹)部は硬い材質を使用しています。ワークへの追従性と搬送時の姿勢安定化を実現しました。傾いたワークなど吸着時の追従性に優れます。ワーク接触部は、食品衛生法適合・FDA準拠材を使用しています。

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生(供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止(供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生(供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止(供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生(供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止(供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

油回転真空ポンプGLD-202AA/GLD-202BB用のメンテナンス部品一式のセットとなります。、メンテナンスキットAとメンテナンスキットBがあり、構成部品の内訳が異なります。

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生(供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止(供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生(供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止(供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生 (供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止 (供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生 (供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止 (供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生 (供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止 (供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生(供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止(供給圧が確保されている場合) ・省エネエジェクタ 真空到達時供給エアカット：空気消費量 93%削減(メーカー測定条件による) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・省エネ効果(金額換算)：93%削減 ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

NW/KF センターリング NW/KFフランジ(金属配管)用 内側のリングガイドでワンタッチ接続 アウターリング付きは高圧用途での使用が可能です。

真空用のセンターリングです。アウターリング付のものも製作可能です。センターリング用のOリングのみの注文も可能です。様々な真空配管用に便利です。NWフランジやISOフランジの接続に使用します。

真空用のセンターリングです。アウターリング付のものも製作可能です。センターリング用のOリングのみの注文も可能です。様々な真空配管用に便利です。NWフランジやISOフランジの接続に使用します。

真空用のセンターリングです。アウターリング付のものも製作可能です。センターリング用のOリングのみの注文も可能です。様々な真空配管用に便利です。NWフランジやISOフランジの接続に使用します。

胴を均等に締め付ける方式なので継手としても最も簡単なものです。ボルトナット類が不要で、ワンタッチで接続できます。オス・メスなしの対称形フランジで、取り付け方向は自由です。

科学的用途と工業的用途の両方で、高温での使用に適したシリコンを含まない高真空グリースです。-10～+240℃の幅広い温度範囲で良好に機能し、+10～+110℃の温度で最適な一貫性を維持します。優れた熱伝達特性を備えています。作動部位から熱を逃がし、加熱の危険と、熱に弱い部品が損傷する危険を減少させます。良好な「静止摩擦力」または付着力を示します。強力な「ゲッタリング」作用により、金属およびガラス表面の潜在的に有害なグリースおよび化学不純物を吸収します。炭化水素溶媒に可溶なので、容易に洗浄および除去が可能です。20℃で1.7x10-9Torrの蒸気圧を示します。用途：真空システム内のガラス製または金属製プラグの潤滑、真空システム内のポリマジョイント部の密封、漏れ検出、真空カプセル化されたリレー内の金属接点の保護、研磨されたガラス/金属面の密封、真空システムおよびレーザーシステムの光学面(曇りが発生しない)。

。チェーンクランプはフランジに対し均一にトルクが掛かり、2つ割りのアルミクランプよりも更にしっかりと締め付けることが可能です。チェーン型の為、狭いスペースでも取り付けることが可能です。

高次元のスペックと堅牢なパーツを使用したフラグシップモデル。到達真空度0.7Pa(5ミクロン)を実現。大型サイトグラスでオイルレベルが簡単に視認可能。

真空規格・各種汎用継手部品

リップ部は軟らかく、ベローズ(蛇腹)部は硬い材質を使用しています。ワークへの追従性と搬送時の姿勢安定化を実現しました。ベローズ部は3段と5段を用意しました。3段タイプは高速搬送時の姿勢安定性に優れています。5段タイプは傾いたワークなど吸着時の追従性に優れます。リップ部のゴム硬度を2種類用意しました。変形しやすい包装袋には極軟質材(ピンク)が、厚いビニール・シート状の包装袋には軟質材(ブルー)が最適です。吸込み防止アダプタを2種類用意しました。球面タイプは、しらたき袋などの軟質の包装材に、平面タイプはパウチパックなどの硬質の包装材に最適です。ワーク接触部は、食品衛生法適合・FDA準拠材を使用しています。

メッシュフィルタ単体

滑り止め特殊リブ ナナメリブを放射状に配置し、全方向のグリップ力を確保 ワークの横滑りを防止 安定した吸着搬送が可能 追従性に優れたボウル形状 湾曲したワークにも追従。

軟らかいフィルム包装ワークの吸着搬送に対応 液体や粉末など大きく変形する袋ワークの吸着搬送が可能 パッド単体、アタッチメントはFDA規格、食品衛生法規格に適合した材料を使用。