接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。
用途濃縮機などの化学機器。半導体製造装置。製薬機械。薬品処理後の乾燥。
仕様耐食型、2段式、サーマルプロテクター内蔵
使用温度範囲(℃)7～40
電源AC
到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)6.7
使用油SO-M
吸込口径KF-25
ポンプの種類油回転
動画あり
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
CADデータあり
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向横(バーブ継手付)
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
CADデータあり
CADデータあり
CADデータあり
長方形ワーク、縦長・横長のワークに対応
パッド形状：長円平形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり
バッファストローク(mm)：[ZP]6、10、15、20、25
バッファストローク(mm)：[ZP2]10、20、30、40、50
パッド寸法(mm)3.5×7
真空取出方向縦
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向縦
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
CADデータあり
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向縦
CADデータあり
長方形ワーク、縦長・横長のワークに対応
パッド形状：長円平形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり
バッファストローク(mm)：[ZP]6、10、15、20、25
バッファストローク(mm)：[ZP2]10、20、30、40、50
パッド寸法(mm)2×4
真空取出方向縦
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向縦
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向縦
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向縦
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向縦
豊富な機種で幅広い用途に対応できます。
パッド形状/平形、平形リブ付、薄形、薄形リブ付、深形、ベロウ形
パッド径/Φ2～Φ50
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向横(ワンタッチ管継手付)
CADデータあり
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
CADデータあり
12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能
パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
取付接続：おねじ、めねじ
真空取出方向：縦、横
真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]
真空取出方向横(ワンタッチ管継手付)
CADデータあり
CADデータあり
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力-84kPa
ボディ型式単体：バルブ+標準サイレンサ付
搭載パイロット弁DC1Wタイプ(ランプ付：1.05W)
真空ポート取出位置：側面、下面取出
オーダーメイド仕様標準
破壊流量調整ニードルロックナットなし
CADデータあり
CADデータあり
CADデータあり
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