7ページ目: 真空機器

接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。

安心設計・環境対応。 低運転音。静音化設計により2～5dBの低減(メーカー従来比)。 長寿命。新材質ブレードの採用により20%アップ(メーカー従来比)。

カップパッキン(特殊樹脂)がシリンダー内を往復運動することにより排気する真空ポンプです。大きな排気速度を有していますが、消費電力が低く環境にやさしい真空ポンプです。また、寿命試験では18000時間をクリアした長寿命配慮となっています。(DOP-300SA実機試験による)

真空ポンプの圧力制御に必要な物をコンパクトにまとめています。 真空ホースの間につないで、開放側ニードルバルブを使って簡易的なポンプの圧力調整が行えます。 減圧完了後はポンプ間のリークに使用できます。

ISO規格NWフランジ用で、真空計のセンサーを取り付けられます。

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

紙・フィルム・基板・電極材などの薄いワークのシワや変形を軽減

ワークへの追従性と搬送時の姿勢安定化を実現。リップ部のゴム硬度を2種類用意しました。ベローズ(蛇腹)部の段数を2種類用意しました。吸込防止アダプタは球面タイプと平面タイプから選択可能です。吸込防止アダプタはステンレスメッシュ付を選択可能です。

最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意 空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合) 質量最大60%削減[ZL1：180g→ZL112(従来品)：450g] 3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比) 吸込流量250%向上 3種類の真空圧力検出部 工具不要!メンテナンス工数の削減が可能

真空規格・各種汎用継手部品

真空規格・各種汎用継手部品

真空規格・各種汎用継手部品

真空配管用KFブランクフランジ。センターリングを用いてシールします。

パッド径Φ1.5～Φ16 小形、省スペース、全長短縮 Φ2ワンタッチ管継手、バーブ継手付をラインナップ

パッド径Φ1.5～Φ16 小形、省スペース、全長短縮 Φ2ワンタッチ管継手、バーブ継手付をラインナップ

ワークがなくても真空圧力の低下を抑制 ワーク変更による切換作業が不要 フィルタ内蔵(40μm) ワンタッチ管継手付

ボックス形にノズル呼び径：Φ1.5、Φ1.8、Φ2.0追加[New] 小型・軽量 全長：最大11%減(直接配管形) ポート高さ：最大25%減(直接配管形) 容積：最大39%減(ボックス形) 4種類の取付方法 サイレンサ/標準ブラケットを用意

圧縮空気を真空に変化させ、真空パッドと組合わせることでワーク(物)の搬送に利用可能。

真空ラインの圧力制御が可能 一面配管仕様をシリーズ化 質量20%減(従来比) ワンタッチ管継手内蔵 クリップ固定式により圧力計・デジタル圧力スイッチの着脱が容易 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能(標準配管仕様のみ) 圧力計・デジタル圧力スイッチの取付角度(60°刻み)変更が容易

様々なワーク形状を吸着可能にする、豊富なラインナップです。 材質、形状、硬度も各種取り揃えニーズに合わせた吸着が可能です。 取付け用金具で簡単取付けが可能です。 耐油性、耐磨耗性に優れています。

重いワーク、大きなワークに対応 パッド径：Φ32～Φ340

接ガス部にPTFEを使用する事で、耐薬品性、耐食性に優れた真空ポンプです。 有機溶媒や腐食性ガスを吸引する用途に最適です。 耐薬品性に優れて、しかも高真空。 小型、省スペース。低騒音、低振動。低消費電力。 長寿命で、メンテナンスも容易。