商品豆知識
ポート数2
使用流体エアー、窒素、ヘリウム等の不活性ガス並びにバルブの接液部品を腐食させないガス及び液体
RoHS
FDA/食品衛生法適合材料。NSF-H1グレード食品用グリース。外装抗菌。HACCP等衛生管理に貢献。FSSC22000認証取得に貢献。抗菌フィルタ：抗菌活性値 4以上
仕様●接流体部材質(ケース)：ナイロン(FDA/食品衛生法適合材料)●接流体部材質(ゴム部品)：フッ素(FDA適合材料)●接流体部材質(潤滑油)：NSF-H1グレード●接流体部材質(金属部品)：アルミニウム合金、黄銅(無電解ニッケルめっき)
最高使用圧力(MPa)1.0(150psi)
フィルター抗菌フィルタ
使用流体圧縮空気、窒素、炭酸ガス(気体)
保証耐圧力(MPa)1.5(225psi)
周囲温度および使用流体温度(℃)-5～60(23～140°F)凍結なきこと
ろ過度(μm)5(捕集効率90%)
ケースガードナイロン(抗菌仕様)
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(5.39MB)
取扱説明書取扱説明書(1.14MB)
FDA/食品衛生法適合材料。NSF-H1グレード食品用グリース。外装抗菌。HACCP等衛生管理に貢献。FSSC22000認証取得に貢献。抗菌フィルタ：抗菌活性値 4以上
仕様●接流体部材質(ケース)：ナイロン(FDA/食品衛生法適合材料)●接流体部材質(ゴム部品)：フッ素(FDA適合材料)●接流体部材質(潤滑油)：NSF-H1グレード●接流体部材質(金属部品)：アルミニウム合金、黄銅(無電解ニッケルめっき)
最高使用圧力(MPa)1.0(150psi)
フィルター抗菌フィルタ
使用流体圧縮空気、窒素、炭酸ガス(気体)
保証耐圧力(MPa)1.5(225psi)
周囲温度および使用流体温度(℃)-5～60(23～140°F)凍結なきこと
ろ過度(μm)0.1(捕集効率99%)
ケースガードナイロン(抗菌仕様)
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(5.39MB)
取扱説明書取扱説明書(1.14MB)
ボディステンレス製(SCS14A)。
耐久性および耐スケール性従来比3倍。
水平・垂直取付自由(コイル上向きに対して90°以内)。
ガスケットは気密性を重視したPTFEを採用。
コイルは10A～25A用(赤)と32A～50A用(黒)の2種類になります。
タイプDPタイプ(パイロット型)
種類電磁弁
形式ピストン式
電圧(V)AC100・50/60Hz共用
保護構造耐じん・防まつ型
定格電圧(V)AC100・50/60Hz共用
最高温度(℃)180(凍結不可)
接続JIS Rc
保護等級IP64
材質(ガスケット)PTFE(ふっ素樹脂)
適合流体蒸気、空気、冷温水、油(20cSt以下)、窒素ガス・アルゴンガス・炭酸ガス(乾燥状態)
周囲温度(℃)50以下(凍結不可)
材質(弁体)SCS14A
材質(ディスク)PTFE(ふっ素樹脂)
材質(弁箱)SCS14A
弁座漏れ量(mL/min)(空気圧0.6MPa時)50
形状ストレート
材質(本体)青銅
接続ねじRc
接続方式ねじ込み形
材質(シート)PTFE
材質(ボール)SCS13A
使用流体静流水(ヘッド揚程加圧式)、脈動水(ポンプ加圧式)、油・燃料油、ガス、空気・圧縮窒素ガス
材質(キャップ)ポリエチレン
最高許容圧力(MPa)80℃以下の静流水：1.4、80℃以下の脈動水・油・空気：1.0
ハンドル形状レバー式
材質(Oリング)FKM(ふっ素ゴム)
材質(ハンドル)SUS 430
材質(フタ)CAC 406
クラス10K
材質(弁箱)CAC 406
材質(弁棒)C 3604 BD ニッケルめっき
ボア径フルボア
バルブ種類ボールバルブ
FDA/食品衛生法適合材料。NSF-H1グレード食品用グリース。外装抗菌。HACCP等衛生管理に貢献。FSSC22000認証取得に貢献。脱臭フィルタ：二次側油分濃度0.003mg/m3以下
仕様●接流体部材質(ケース)：ナイロン(FDA/食品衛生法適合材料)●接流体部材質(ゴム部品)：フッ素(FDA適合材料)●接流体部材質(潤滑油)：NSF-H1グレード●接流体部材質(金属部品)：アルミニウム合金、黄銅(無電解ニッケルめっき)、ステンレス材●脱臭性能(mg/m2)(二次側油分濃度)：0.003以下
最高使用圧力(MPa)1.0(150psi)
フィルター脱臭フィルタ
使用流体圧縮空気、窒素、炭酸ガス(気体)
保証耐圧力(MPa)1.5(225psi)
周囲温度および使用流体温度(℃)-5～60(23～140°F)凍結なきこと
ケースガードナイロン(抗菌仕様)
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(5.39MB)
取扱説明書取扱説明書(1.14MB)
FDA/食品衛生法適合材料。NSF-H1グレード食品用グリース。外装抗菌。HACCP等衛生管理に貢献。FSSC22000認証取得に貢献。抗菌フィルタ：抗菌活性値 4以上。脱臭フィルタ：二次側油分濃度 0.003mg/m3以下
仕様●抗菌性能(抗菌活性値)：4以上●接流体部材質 (金属部品)：アルミニウム合金、黄銅(無電解ニッケルめっき)、ステンレス鋼●接流体部材質(ケース)：ナイロン(FDA/食品衛生法適合材料)●接流体部材質(ゴム製品)：フッ素(FDA適合材料)●接流体部材質(潤滑油)：NSF-H1グレード●脱臭性能(mg/m2)(二次側油分濃度)：0.003以下
構成機器抗菌フィルタ(5μm)+抗菌フィルタ(0.1μm)+脱臭フィルタ
最高使用圧力(MPa)1.0(150psi)
使用流体空気、窒素、炭酸ガス(気体)
保証耐圧力(MPa)1.5(225psi)
周囲温度および使用流体温度(℃)-5～60(23～140°F)凍結なきこと
ろ過度(μm)0.1
ケースガードナイロン(抗菌仕様)
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(5.39MB)
取扱説明書取扱説明書(1.14MB)
設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適
付属品ハウジング、端子
使用温度(℃)【供給ガス】5～60
繰返し精度(mm)±1
使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガス
チューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4
材質(ボディ)PPS
周囲温度(℃)5～60
チューブ長さ(m)5以内
流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時)
材質(ダイアフラム)FKM，FFKM
応差(mm)2
応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
FDA/食品衛生法適合材料。NSF-H1グレード食品用グリース。外装抗菌。HACCP等衛生管理に貢献。FSSC22000認証取得に貢献。除菌フィルタ：細菌捕捉性能 LRV≧9
仕様●接流体部材質(ケース)：ナイロン(FDA/食品衛生法適合材料)●接流体部材質(ゴム部品)：フッ素(FDA適合材料)●接流体部材質(潤滑油)：NSF-H1グレード●接流体部材質(金属部品)：アルミニウム合金、黄銅(無電解ニッケルめっき)
最高使用圧力(MPa)1.0(150psi)
フィルター除菌フィルタ
使用流体圧縮空気、窒素、炭酸ガス(気体)
保証耐圧力(MPa)1.5(225psi)
周囲温度および使用流体温度(℃)-5～45(41～113°F)凍結なきこと
ろ過度(μm)0.01(捕集効率99.99%)
ケースガードナイロン(抗菌仕様)
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(5.39MB)
取扱説明書取扱説明書(1.14MB)
FDA/食品衛生法適合材料。NSF-H1グレード食品用グリース。外装抗菌。HACCP等衛生管理に貢献。FSSC22000認証取得に貢献。抗菌フィルタ：抗菌活性値 4以上
仕様●抗菌性能(抗菌活性値)：4以上●接流体部材質(ケース)：ナイロン(FDA/食品衛生法適合材料)●接流体部材質(ゴム部品)：フッ素(FDA適合材料)●接流体部材質(潤滑油)：NSF-H1グレード●接流体部材質(金属部品)：アルミニウム合金、黄銅(無電解ニッケルめっき)
構成機器抗菌フィルタ(5μm)+抗菌フィルタ(0.1μm)
最高使用圧力(MPa)1.0(150psi)
使用流体空気、窒素、炭酸ガス(気体)
保証耐圧力(MPa)1.5(225psi)
周囲温度および使用流体温度(℃)-5～60(23～140°F)凍結なきこと
ろ過度(μm)0.1
ケースガードナイロン(抗菌仕様)
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(5.39MB)
取扱説明書取扱説明書(1.14MB)
直流電源のピストンタイプ。
内部主要部品を含め、ボディステンレス化により耐食性が向上。
PTFE(テフロン)ガスケット採用により、気密性が向上。
取付姿勢は水平・垂直自由(ただし、コイル上向きに対して90°以内)。
タイプDPタイプ(パイロット型)
種類電磁弁
形式ピストン式
使用温度範囲(℃)180
電圧(V)DC24
使用圧力範囲(MPa)0～1.0(真空使用不可)
定格電圧(V)DC24
最高使用圧力(MPa)0～1.0(真空使用不可)
作動方式通電時開型
最高温度(℃)180
接続JIS Rc
適合流体蒸気・冷温水・空気・窒素ガス・炭酸ガス・アルゴンガス・油(20cSt以下)
材質(弁体)SCS
材質(ディスク)PTFE(ふっ素樹脂)
材質(弁箱)SCS
最低作動圧力(MPa)0(コイルが横向きの場合は差圧0.03以上必要)
形状ストレート
材質(本体)鋳鉄
最高使用圧力(MPa)120℃以下の静流水：1.4、120℃以下の油・脈動水：1.0、飽和蒸気：0.7
接続方式管フランジ
使用流体静流水(ヘッド揚程加圧式)、脈動水(ポンプ加圧式)・油・燃料油・空気・圧縮窒素ガス、ガス(可燃性・毒性ガスを除く)、飽和蒸気
ハンドル形状丸形
材質(ガスケット)ノンアスベストシート
材質(フタ)FC200
材質(パッキン)ノンアスベスト、(押さえ)FCD-S
材質(弁体・弁座)CAC406
材質(弁体)FC200
材質(ボルト)SS400
材質(ナット)SS400
材質(ヨーク)FC200、(スリープ)CAC406
クラス10K
材質(弁箱)FC200
材質(弁棒)C 3771 BD
材質(弁箱付弁座)CAC406
バルブ種類ゲートバルブ
FDA/食品衛生法適合材料。NSF-H1グレード食品用グリース。外装抗菌。HACCP等衛生管理に貢献。FSSC22000認証取得に貢献。抗菌フィルタ：抗菌活性値 4以上。除菌フィルタ：細菌捕捉性能 LRV≧9。脱臭フィルタ：二次側油分濃度 0.003mg/m3以下
仕様●抗菌性能(抗菌活性値)：4以上●接流体部材質 (金属部品)：アルミニウム合金、黄銅(無電解ニッケルめっき)、ステンレス鋼●接流体部材質(ケース)：ナイロン(FDA/食品衛生法適合材料)●接流体部材質(ゴム製品)：フッ素(FDA適合材料)●接流体部材質(潤滑油)：NSF-H1グレード●脱臭性能(mg/m2)(二次側油分濃度)：0.003以下●除菌性能(細菌捕捉性能)：LRV≧9
構成機器抗菌フィルタ(5μm)+抗菌フィルタ(0.1μm)+脱臭フィルタ+除菌フィルタ(0.01μm)
最高使用圧力(MPa)1.0(150psi)
使用流体空気、窒素、炭酸ガス(気体)
保証耐圧力(MPa)1.5(225psi)
周囲温度および使用流体温度(℃)5～45(41～113°F)
ろ過度(μm)0.01
ケースガードナイロン(抗菌仕様)
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(5.39MB)
取扱説明書取扱説明書(1.14MB)
仕様AC通電自閉・差圧ゼロ作動
形状ストレート
流体蒸気、冷温水、空気、窒素ガス、炭酸ガス(乾燥状態)、アルゴンガス、A重油、B重油、灯油、軽油(20cSt以下)
種類電磁弁
形式ピストン式
使用温度範囲(℃)5～180(凍結不可)
電圧(V)AC100/200・結線方法選択形(50/60Hz共用)
定格電圧(V)AC100/200・結線方法選択形(50/60Hz共用)
接続JIS Rc
ハンドル形状ハンドル無し
最低作動圧力差(MPa)0(コイル横向きの場合は差圧0.03以上必要)
材質(弁体)ステンレス鋼SCS
材質(ディスク)ふっ素樹脂(PTFE)
作動通電時閉形
適合圧力(MPa)0～1.0(真空使用不可)
材質(弁箱)ステンレス鋼SCS
設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。1本の検出チューブにて4点の液面検出が可能なKML60シリーズと1点の液面検出が可能なKML502シリーズの混合搭載が可能なマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適
仕様【KML60-4】(スイッチング水位)10～1000mm/ユーザー任意接点4点
電源電圧【KML60-4】DC12～24V ±10% 電圧リップル率 5%以下
チューブ長さ(m)5以下
スイッチ出力【KML60-4】NPNオープンコレクタ4点(DC28V 80mA 以下)
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