スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。0.5sec以内の高速制御が可能です。流量制御値及び積算機能を搭載しています。消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。
適合流体N2/Air
材質(ボディ)樹脂(禁油なし)
超小型サイズで、大流量モデルまでラインナップしています。消費ガス、パージガスの流量管理に適しています。瞬時流量及び積算機能を搭載しています。
適合ガスAir・N2
校正証明書一般校正
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