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取り出しやすく、積み重ねもできます。

SCC(超純水洗浄し、クリーンパック)した商品です。

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。 独自のクッション構造により、落下・輸送・振動に強い構造となっております。 気密性に優れています。

取り出しやすく、積み重ねもできます。200mm以下のウェハータイプに適合します。

ウェハーの出荷・保管用の容器です。ウェハーの表を下にして収納します。 ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。スプリングでウェハーを固定します。 トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます。 オールポリプロピレン製。

ウエハを清浄に搬送する枚葉タイプです。 アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。 積層高さもコンパクトです。 低汚染を追求した材質で製造されています。 トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。 SS300はガスケットを有し、帯電防止性も品揃えしています。 SS300セットはパッキン付きですので、気密性に優れています。

ケース付きですので、一時的な保管や移動時に便利で、試料を安心して保管できます。 ケースは半透明で内部の観察も容易です。

進化を続ける半導体産業の基盤であるウエハをクリーンかつ安全に輸送する容器です。有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強いです。サンプルキープ用としても活躍します。

ウェハーの表を下にして収納します。 ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。 スプリングでウェハーを固定します。 トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます(品番が9で始まるもの、4で始まるものそれぞれでのみ可能)。

装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

リング付きのウェハーの収納用です。帯電防止タイプです。