ウェハーの出荷・保管用の容器です。ウェハーの表を下にして収納します。
ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。スプリングでウェハーを固定します。
トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます。
オールポリプロピレン製。
材質ナチュラルPP(ポリプロピレン)
アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。
独自のクッション構造により、落下・輸送・振動に強い構造となっております。
気密性に優れています。
収納数25枚
取り出しやすく、積み重ねもできます。
材質透明PC(ポリカーボネート)
ウエハを清浄に搬送する枚葉タイプです。
アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。
積層高さもコンパクトです。
低汚染を追求した材質で製造されています。
トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。
SS300はガスケットを有し、帯電防止性も品揃えしています。
SS300セットはパッキン付きですので、気密性に優れています。
セット内容本体・カバー・スプリング(各1枚)
ウェハーの表を下にして収納します。
ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。
スプリングでウェハーを固定します。
トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます(品番が9で始まるもの、4で始まるものそれぞれでのみ可能)。
材質ナチュラルPP
低汚染を追求した材質で製造されています。トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。パッキン付きですので、気密性に優れています。
セット内容本体・カバー・スプリング×各1枚
サイドウォールにはウォッシュスロットを設け、洗浄、水切り、乾燥効果を高めています。
材質PFA
容量25枚用
材質セミプラスト(R)P(PP)
寸法(mm)125.5×142.24×114.3
収納数25枚
アズワン品番7-177-07
適合ウェハー寸法(Φmm)100
1個
¥2,910
税込¥3,201
当日出荷
材質セミプラスト(R)NEO(PBT+Carbon)
収納数25枚
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
仕様●4インチシングルウェハケース(1枚入)●ケースサイズ:112mm●ケース厚み:15mm●ケース重量:41g●ケース材質:PP(ポリプロピレン)●ケースセット内容:本体・カバー・スプリング×各1枚●▼シリコンウェハ、SICウェハ等の基板を入れる用途でご利用下さいませ。●▼クリーンパック:無(本商品はクリーンパックはしておりません。)
ケース付きですので、一時的な保管や移動時に便利で、試料を安心して保管できます。
ケースは半透明で内部の観察も容易です。
用途保管・移動時に便利です。
材質PP(ポリプロピレン)
高品質の単結晶SiCウェハ
仕様●結晶タイプ: 4H-SiC●導電型/ドーパント: Nタイプ、窒素●グレード: プロダクション●直径: 149.5mm~ 150.0mm (6インチ)●厚さ: 350 μm±25 μm●オフ角度: <11-20 >に対して4°±0.5°●マイクロパイプ密度(MPD): 2 個/cm-2 以下●比抵抗値: 0.015~0.024Ω-cm●オリフラ: {10-10} ±5.0°、長さ47.5 mm ± 2.0 mm●エッジ除外領域(EE): ウェハ端から3mm●反り: LTV≦2.5μm、TTV≦6μm、BOW≦25μm、WARP≦35 μm●表面仕上げ: 両面CMP (Si面 Ra≦0.2 nm)●エッジクラック: 無●結晶多形: 無●エッジチッピング: 幅かつ長さ0.2mm以上のものは無●レーザーマーク: C面(裏面)側に有り●梱包形態: シングルウエハケースに1枚毎に梱包
アズワン品番68-4088-75
1枚
¥159,800
税込¥175,780
5日以内出荷
高品質の単結晶SiCウェハ
仕様●結晶タイプ: 4H-SiC●導電型/ドーパント: Nタイプ、窒素●グレード:ダミーグレード●直径: 150.0mm± 0.2mm (6インチ)●厚さ: 350 μm±25 μm●オフ角度: [11-20]に対して4°±0.5°●マイクロパイプ密度(MPD): 2 個/cm2 以下●比抵抗値: 0.015~0.028Ω-cm●オリフラ: // [11-20] ± 5.0°、長さ47.5 mm ± 2.0 mm●エッジ除外領域(EE): ウェハ端から3mm●反り: LTV≦5μm、TTV≦15 μm、BOW≦40μm、WARP≦60 μm●表面仕上げ: 両面CMP、Si面Epi-ready (Si面Ra≦0.2 nm、C面Ra≦0.5 nm)●エッジクラック: N/A●結晶多形: 累積面積≦5%●エッジチッピング: 2 個以下、各々1mm 以内●XRD半値幅: ≦60 arcsec●表面パーティクル: 0.3μm ≦30個●表面金属不純物: Al/Cr/Fe/Ni/Cu/Zn/pb/V/Mn/NA/Ca/K/Mg≦5E10atoms●レーザーマーク: C面(裏面)側に有り●梱包形態: シングルウエハケースに1枚毎に梱包
アズワン品番68-4088-73
1枚
¥119,800
税込¥131,780
6日以内出荷
高品質の単結晶SiCアズスライスウエハ
仕様●結晶タイプ: 4H-SiC●導電型/ドーパント: Nタイプ、窒素●グレード: ダミーグレード●直径: 149.5mm~ 150.0mm (6インチ)●厚さ: 450 μm±15 μm●レーザーマーク: C面(裏面)側に有り●梱包形態: シングルウエハケースに1枚毎に梱包
アズワン品番68-4088-76
1枚
¥95,980
税込¥105,578
6日以内出荷
取り出しやすく、積み重ねもできます。200mm以下のウェハータイプに適合します。
材質PP(ポリプロピレン)
仕様交換用クッション
アズワン品番1-4463-05
1袋(100個)
¥14,980
税込¥16,478
欠品中
リング付きのウェハーの収納用です。帯電防止タイプです。
材質PP
収納数25枚
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
仕様●グレード:ダミーグレード●タイプ:4H●Surface orientation error:<11-20>4±0.5 °●ドーパント:N型 Nitrogen●抵抗率:0.015~0.025 ohm・cm●直径:200.0±0.2mm●厚み:500±25 μm●主要ノッチ方位:[1-100]±5 °●主要ノッチ深さ:1-1.5 mm●セカンドオリフラ:None●LTV:≦10(10mm×10mm)μm●TTV:≦15μm●Bow:0±65μm●Warp:≦70μm●(AFM)Front(Si-face)Roughness:Ra≦0.2 nm●マイクロパイプ:≦50ea/cm●金属不純物:NA●TED:NA●BPD:NA●TSD:NA●<表面状態>●フロントサイド:Si●面状態:Si-face CMP●パーティークル:NA●スクラッチ:NA●<裏面状態>●面状態:C-face polished●スクラッチ:NA ea/mm●裏面粗さ:Ra≦5 nm●レーザーマーク:On●エッジ:Chamfer●Notes:"NA" =不問。Items not metioned may refer to SEMI-STD●数量:1枚(1箱)●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
アズワン品番67-3018-45
1箱(1枚)
¥454,000
税込¥499,400
23日以内出荷
SCC(超純水洗浄し、クリーンパック)した商品です。
付属品トレー、カバー、スプリング×各1個
耐熱性、剛性に優れておりますので、高温処理後のウエハの収納に適しております。厚みのあるウエハが収納出来ます。
材質ビショップ3(導電性高機能樹脂)
容量12枚用
寸法(inch)6
アズワン品番61-9658-31
1個
¥45,880
税込¥50,468
33日以内出荷
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