「冷却水循環装置」の検索結果

高揚程ポンプ(最大流量40.7/44.6l/min、最大揚程13.6/19.1m)により循環先の抵抗が大きい場合でもスムーズな循環を実現します。 バイパスバルブを標準装備していますので、流量の大まかな調整が可能です。 純水循環も可能ですので、半導体製造装置の冷却装置としてご使用になれます。 外部運転、外部警報出力端子や外部警報入力端子・遠隔操作端子を標準装備しています。 停電復帰機能により万一の停電時でも自動的に運転を再開することができます。