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進化を続ける半導体産業の基盤であるウェハをクリーンかつ安全に輸送する容器です。有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強いです。低有機汚染性能を追求したモデルです。
材質ポリカーボネート、エラストマー
収納枚数(枚)25
進化を続ける半導体産業の基盤であるウェハをクリーンかつ安全に輸送する容器です。有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強いです。サンプルキープ用としても活躍します。
材質ポリカーボネート、エラストマー
![高真空対応、低アウトガスタッチスイッチ[GNシリーズ] Metrol(メトロール)](http://jp.images-monotaro.com/Monotaro3/pi/middle/mono44791750-230824-02.jpg)
エコ商品
高真空対応、低アウトガスタッチスイッチ[GNシリーズ]は、真空環境で問題となるアウトガスを極力排出しない優れた性能を誇ります。
GNシリーズは、アウトガスの発生がない部品を使用し、10-5Paの高真空環境まで対応可能です。
クリーンルームで製造を行い、コンタミネーション対策を徹底しているため、半導体製造ラインなどでも多く採用されています。
アウトガスの少ない材質と接着剤を使用し、高真空環境専用の位置決めスイッチとして最適です。
高真空度クラス 10-5Pa 対応
低アウトガス対応の材質・接着剤・コード使用
用途アウトガス対策された材料で構成され、120℃までの温度に耐えることが可能です。
また、構成上、油やグリースなどは使用していません。
あらゆる生産設備や工作機械、ロボットの高精度な位置決めやワークや治具の有無検出などにご利用いただけます。
マイクロスイッチやリミットスイッチの置き換えとして採用実績多数
半導体製造装置
半導体ウェハーの有無検出(真空チャンバー内)
ガラス基板の位置決め(真空成膜装置、太陽光発電(PV)真空装置)
ガラス基板のアライメントやマスクのトレイ着座検出、キャリアの原点出し(FPD向け真空成膜装置)
人工衛星など航空宇宙関連設備でも採用実績
仕様当て方：直進
ストローク(mm)1.5(全体の動き)
タイプ外形：ネジ径
ねじピッチM5×0.5
使用温度範囲(℃)0～120 (氷結ないこと)
ケーブル長(m)0.5
材質(ケース)SUS304
寿命接点精度：300万回
ケーブルPTFEバラ線、AWG30相当
繰返し精度(μm)3
LEDLED無し
振動10～55Hz 複振幅1.5 X、Y、Z各方向
接触力0.5N
外径(mm)5
コンタクト形状端面 SR2
RoHS指令(10物質対応)対応
軸受種類メタル軸受け
関連資料製品カタログ(0.68MB) 位置決め タッチスイッチの選び方と用語を徹底解説(1.23MB) マイクロスイッチで失敗しないために絶対知っておきたい事(3.07MB) タッチスイッチ製品の「精度」を徹底比較(2.17MB) 導入事例(2.8MB) センサ改善事例(3.39MB)
取扱説明書(0.9MB)
IP等級IP40
ケーブル形状ストレート
ケーブルタイプバラ線
接点定格DC5V～DC24V 定常電流10mA以下(突入電流 20mA以下) LED付の場合、LEDに10mA以上の電流が流れないよう電流制限が必要です。
押しボタンによる動作方式で検出体の材質、色、反射率などの影響なく検出有無を判断可能。半導体ウェハーキャリア(FOUP、FOSBなど)の移送到着有無検出に最適。投/受光素子を使用した光学式動作原理で500万回以上の機械寿命を保障。3面の動作表示灯。ねじ締結部にスリーブ採用で設置時の製品破損防止
形状押しボタンタイプ
保護構造IP50
検出方式押しボタンによる内部光軸の遮断方式
接続方式配線引出型
検出距離(mm)5
電源電圧(V)DC12～24
取得規格CE、UL、UKCA、EAC
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(0.39MB)
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