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移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Xステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドボールブッシュ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.003
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.015
使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.01
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ 仕様スケール付があります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
移動方向X軸1方向
使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
材質(テーブル)アルミ合金
モータにドライバ・コントローラ・エンコーダ一体型のクールマッスルCM1を搭載しています。
RS-232Cにより、専門のプログラミング言語でモータへのプログラム、またダイレクトモードでの駆動が可能です。
顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。
標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
移動方向XY軸2方向
送りねじリード(mm)1
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Zステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドボールブッシュ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.003
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.015
使用モータPK545NAW相当 電磁ブレーキ付(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.01
最高速度(mm/s)10(5000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
種類傾斜ステージ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動ガイドクロスローラ
種類xyステージ/傾斜ステージ
送り方式ボールねじ・リード1mm
材質(本体)アルミ合金
仕上白色
コネクタ丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)
繰返し精密度(μm)XY：≦±0.5
バックラッシュXY：≦ 1μm、θ：≦ 0.005°
ロストモーション(mm)XY：≦ 0.002
ロストモーション(°)θ：≦ 0.005
移動ガイドにV溝とクロスローラを採用した高精度Z昇降ステージです。ステージ面が90mm×90mm、125mm×125mmそれぞれに移動量が異なるタイプがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.001mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
最高速度(mm/s)5(5000pps時)
6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)280
テーブル幅(mm)230
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(ニコン)エクリプスLV150/LV150A
質量(kg)5.1(アルミプレートを除く)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.015
使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.010、(Y軸)0.010、【フルストローク】(X軸)0.030、(Y軸)0.030
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
￥999,800
税込￥1,099,780
10日以内出荷
6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)280
テーブル幅(mm)230
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(ニコン)エクリプスLV100D
質量(kg)5.1(アルミプレートを除く)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.015
使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.010、(Y軸)0.010、【フルストローク】(X軸)0.030、(Y軸)0.030
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
￥999,800
税込￥1,099,780
10日以内出荷
移動量300mm×300mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)460
テーブル幅(mm)405
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(ニコン)オプチフォト300、エクリプスL300/L300D
質量(kg)10.3(アルミプレートを除く)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
使用モータPK525HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.040、(Y軸)0.040、【フルストローク】(X軸)0.120、(Y軸)0.010
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
￥1,798,000
税込￥1,977,800
30日以内出荷
8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)355
テーブル幅(mm)305
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(ニコン)エクリプスL200/L200A/L200D/L200N/L200ND
質量(kg)7.3(アルミプレートを除く)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.025
使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.015、(Y軸)0.015、【フルストローク】(X軸)0.060、(Y軸)0.050
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
￥1,298,000
税込￥1,427,800
70日以内出荷
回転中心高さと移動量が異なる傾斜ステージです。
独自の複合カップリング機構により微細で非常になめらかな動作が可能です。
カメラ、センサなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
移動方向傾斜1方向
使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)0.5
移動装置複合カップリング
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
位置決め精度(°)0.03
繰返し精度±0.002°
ロストモーション(°)0.006
材質アルミ合金
表面処理黒アルマイト梨地
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
センサーノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
種類傾斜ステージ
RoHS指令(10物質対応)対応
空間上に回転中心を持つ傾斜ステージです。
移動ガイドにV溝とクロスローラを使用しています。
カメラ、センサなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類傾斜ステージ
移動方向傾斜2方向
6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。※ 透過照明で観察できる範囲は移動量よりも狭くなります。外観図のテーブル透過穴をご参照ください。
種類xyステージ
繰返し精度(mm)±0.002
分解能(mm)0.002
適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
耐荷重(N)49(5kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向XY軸2方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.015(垂直)
移動量(mm)XY軸±75
使用モータPKP523N12A
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)40(20000pps時)
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)280
テーブル幅(mm)230
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(オリンパス)MX40、MX51
質量(kg)5.1(アルミプレートを除く)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.015
使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.010、(Y軸)0.010、【フルストローク】(X軸)0.030、(Y軸)0.030
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
￥999,800
税込￥1,099,780
10日以内出荷
移動量300mm×300mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
材質アルミ合金
質量(kg)10.3(アルミプレートを除く)
種類xyステージ
表面処理黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
分解能(mm)0.002
適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
耐荷重(N)49(5kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向XY軸2方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動量(mm)XY軸±150
使用モータPKP523N12A
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)40(20000pps時)
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
材質アルミ合金
質量(kg)7.3(アルミプレートを除く)
種類xyステージ
表面処理黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
分解能(mm)0.002
適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
耐荷重(N)49(5kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向XY軸2方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.025(垂直)
移動量(mm)XY軸±100
使用モータPKP523N12A
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)40(20000pps時)
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)280
テーブル幅(mm)230
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(ニコン)エクリプスL200/L200A
質量(kg)5.1(アルミプレートを除く)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.015
使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.010、(Y軸)0.010、【フルストローク】(X軸)0.030、(Y軸)0.030
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
￥999,800
税込￥1,099,780
10日以内出荷
FA用途を強く意識した、高速、急停止、短時間整定が可能なXY自動ステージです。高速移動、急停止の繰り返しをした場合に、約60msで整定するため、例えば150mm×150mm内のワークパターン約1万箇所の全数検査範囲を約17分で走査可能です。繰り返し精度±0.002mmのため、高倍率顕微鏡視野内(約Φ0.1mm)の位置再現性も十分にあります。メーカー製の超高速追従型オートフォーカス顕微鏡システムと組み合わせることで、外観検査などに最高のパフォーマンスを発揮します。
耐荷重(N)49(5kg)
移動ガイドV溝とクロスローラ
幅(mm)200
奥行(mm)280
高さ(mm)200
付属品フラットベース、検査合格証、六角穴付きボルト(本体固定用)M6 4本、六角穴付きボルト(フラットベース固定用)M6 4本、ACケーブル、センサケーブル、モータケーブル、QT-Aコントローラ接続用ケーブル
材質アルミ合金
移動方向XY軸2方向
使用モータαステップモータ ARM46AC相当品
分解能(mm)0.002
送りねじリード(mm)2
繰返し精度(mm)±0.002
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)100
表面処理黒アルマイト梨地
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
センサーリミット：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
型番ドライバ：QT-ARD2
入力電源AC100～115V 50/60Hz 最大6.0A
軸数駆動：2軸
駆動方式2相ステッピングバイポーラ方式
電流(A)駆動：0.49/相
分解能切換：0.002mm(初期値)、(内部スイッチにより0.004mm、0.0004mm、0.0002mm切換可)
入力信号駆動パルス パルス方式→2パルス方式(初期値)、(内部スイッチにより1パルス方式切換可)、最大パルス周波数→250KHz(50%デューティー時)、パルス電圧→+5V、対応信号形態→オープンコレクタ、ラインドライバ
適合ステージ：MSS-H200A、またはMSS-H300A専用
コントローラ推奨：QT-AMH2、QT-ADM2
ステージ面が40mm角、ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにHG-VCR方式を使用した高剛性ステージです。送りねじは転造ねじを使用し、従来品より低価格です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広くご利用いただけます。
耐荷重(N)49(5kgf)
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.32
付属品検査合格証、六角穴付ボルト(本体固定用)M3 4本
材質アルミ合金
移動方向X軸1方向
移動量(mm)±7.5
ステージ寸法(mm)40×40
使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
分解能(mm)0.002
送りねじ種類転造ボールねじ
送りねじリード(mm)1
移動精度(mm)HV：真直度(水平・垂直)0.01
位置決め精度(mm)0.014
繰返し精度(mm)±0.0005
ロストモーション(mm)0.002
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
表面処理黒アルマイト梨地
センサーリミット：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
仕様エコノミー型
1台
￥79,980
税込￥87,978
5日以内出荷
ステージ面が60mm角、ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにHG-VCR方式を使用した高剛性ステージです。送りねじは転造ねじを使用し、従来品より低価格です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広くご利用いただけます。
耐荷重(N)49(5kgf)
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.5
付属品検査合格証、六角穴付ボルト(本体固定用)M4 4本
材質アルミ合金
移動方向X軸1方向
移動量(mm)±12.5
ステージ寸法(mm)60×60
使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
分解能(mm)0.002
送りねじ種類転造ボールねじ
送りねじリード(mm)1
移動精度(mm)HV：真直度(水平・垂直)0.01
位置決め精度(mm)0.014
繰返し精度(mm)±0.0005
ロストモーション(mm)0.002
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
表面処理黒アルマイト梨地
センサーリミット：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
仕様エコノミー型
1台
￥89,980
税込￥98,978
4日以内出荷
サーボモーター搭載の 1 軸傾斜ステージ
種類傾斜ステージ
精度回転中心：Φ0.05
分解能0.001332°
機構移動：複合カップリング
繰返し精度± 0.002°(± 7.2 sec)
耐荷重(N)49
ステージ寸法(mm)70×70
移動方向傾斜 1 方向
送り方式ボールねじ、リード1.0mm
移動ガイドV 溝とクロスローラ
回転中心70mm(ステージ上面より)
使用モータSGMAV-A5ADA61(安川電機、サーボモーター)
位置決め精度(°)0.03(108 sec)
ロストモーション(°)0.006
移動量± 8°
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