リニアスケールで使用する製品は、半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、プリント配線板などの電子デバイス製造装置、電子部品実装機、工作機械、搬送機械などが主となっており、多くに分野で欠かせない工程をになう装置に使用されています。
用途プリント配線板などの電子デバイス製造装置、電子部品実装機、工作機械、搬送機械
種類Xステージ
分解能4μm/パルス(Full)・2μm/パルス(Half)
耐荷重(N)392
RoHS指令(10物質対応)対応
移動ガイドクロスローラ
テーブル長さ(mm)165
ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。
用途計測・検査・評価装置用の位置決めに適した自動ステージです。
仕様(MIXスピード)30°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無、同心度:30μm
材質(ステージ)アルミ・アルミニウム青銅
種類回転ステージ
分解能0.005°/パルス(Full)・0.0025°/パルス(Half)
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームギヤ
面振れ(mm)0.02
移動量(°)反時計周りCCW方向は∞・時計周りCW方向は0度付近(-2.5)で停止
ロストモーション(°)0.05
バックラッシ(°)0.08
原点センサ無
新製品 低価格・高精度・短納期を実現した『SXステージ』シリーズです。
精密クロスローラガイドを使用したロングストローク自動Xステージです。
クリーングリスを使用しています。
送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
5相ステッピングモーター使用。
KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
種類xyステージ
送り方式ボールネジ
リード(mm)1
移動ガイド精密クロスローラガイド
材質アルミ合金
色白色仕上げ
繰返し精度(μm)≦±0.3(位置決め)
バックラッシュ≦0.2μm
コネクタ形状丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
新製品 低価格・高精度・短納期を実現した『SXステージ』シリーズです。
精密クロスローラガイドを使用したロングストローク自動Xステージです。
クリーングリスを使用しています。
送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
5相ステッピングモーター使用。
KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
種類xステージ
送り方式ボールネジ
リード(mm)1
移動ガイド精密クロスローラガイド
材質アルミ合金
色白色仕上げ
繰返し精度(μm)≦±0.3(位置決め)
バックラッシュ≦0.2μm
コネクタ形状丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
種類傾斜ステージ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動ガイドクロスローラ
クロスローラガイドを使用したステッピングモータ駆動の自動ゴニオステージです。
耐摩耗性に優れたクロスローラガイドを採用した高剛性のゴニオステージです。
テーブル面から回転中心の高さを75mm/100mm/130mmをご用意しており、用途に合わせてご選定いただけます。
仕様(MIXスピード)6°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無
材質(ステージ)アルミ
種類傾斜ステージ
表面処理(ステージ)黒アルマイト
耐荷重(N)24.5
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームとウォームホイール
移動ガイドクロスローラ
位置決め精度(°)±0.004
テーブル幅(mm)60
テーブル長さ(mm)60
原点センサ無
種類xyステージ/傾斜ステージ
送り方式ボールねじ・リード1mm
材質(本体)アルミ合金
仕上白色
コネクタ丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
繰返し精密度(μm)XY:≦±0.5
バックラッシュXY:≦ 1μm、θ:≦ 0.005°
ロストモーション(mm)XY:≦ 0.002
ロストモーション(°)θ:≦ 0.005
クロスローラガイドを使用したステッピングモータ駆動の自動ゴニオステージです。
耐摩耗性に優れたクロスローラガイドを採用した高剛性のゴニオステージです。
テーブル面から回転中心の高さを75mm/100mmをご用意しており、用途に合わせてご選定いただけます。
仕様(MIXスピード)6°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無
材質(ステージ)アルミ
種類傾斜ステージ
表面処理(ステージ)黒アルマイト
耐荷重(N)19.1
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームとウォームホイール
移動ガイドクロスローラ
位置決め精度(°)<±0.004
テーブル幅(mm)60
テーブル長さ(mm)60
原点センサ無
テーブル長さ(mm)130
テーブル幅(mm)130
耐荷重(N)196(20kgf)
送り方式ボールネジ
リード(mm)1
移動ガイドXY:精密クロスローラガイド、θ:クロスローラベアリング
有効移動範囲(mm)XY:±5
移動量(°)θ:±5
分解能(μm)XY:1/0.5(フル/ハーフ)
分解能θ:0.000674°/0.000337°(フル/ハーフ)
最高速度(mm/s)XY:10 : Half 20kpps
最高速度(°/s)θ:6.74 : Half 20kpps
ロストモーション(mm)XY:≦ 0.002
ロストモーション(°)θ:≦ 0.005
真直度(μm)[水平/垂直]XY:≦ 1
繰返し精度(μm)XY:≦±0.5(位置決め)
再現性(度)θ:≦ 0.001
バックラッシュXY:≦ 1μm θ:≦ 0.005°
振れ(μm)θ:≦5/±5°
偏心θ:≦3μm/±5°
モーメント荷重(arcsec/N・cm)XY:0.1
自重(kg)4.5
使用モータPK523HPMB(オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相、基本ステップ角 0.36°、 リード線5本)(3軸共通)
コネクタ形状丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)(3軸共通)
タイプステージ結線:V3(3軸共通)
センサー型式XYθ:F-115(HOME、 LIMIT)
1台
¥699,800
税込¥769,780
23日以内出荷
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