直線運動を回転に、回転運動を直線に、効率70%で転換できます。シリンダなどで多条スクリュー軸を押すことにより簡単にトルクを発生します。また早送り機構などにも最適です。
RoHS指令(10物質対応)対応
樹脂ナット(PPS系樹脂)とステンレス軸(SUS304)との組合せにより、耐食性に優れ幅広い環境で使用できます。低摩擦の樹脂ナットによりスムーズな動きを実現し、低騒音です。
材質(ナット)PPS系樹脂、(ネジ軸)SUS304
リード精度(mm)±0.21/300
RoHS指令(10物質対応)対応
X軸方向の微動ユニットです。移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用し、送り方式に送りねじを使用しています。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。任意の位置で保持力の高いレバー式クランプによる固定が可能です。
種類Xステージ
送り方式送りねじP=0.5mm
移動ガイドアリ溝
材質(ベース)アルミ合金/黒アルマイト梨地
材質/処理(テーブル)真鍮/クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)約0.5mm
冷間転造により軸の歯形を成形しているので歯面の表面は250HV以上に加工硬化し、しかもなめらかな鏡面仕上げとなっているため耐磨耗性に優れ、ナットの組み合わせによる動きも極めてスムーズです。
歯面の内部組織は、ファイバーフローが歯形の輪郭に沿って生じ、歯元部の組織が極めて蜜となり、疲れ強さが増加しています。
用途スクリューナットDCM、DC共通
ピッチ誤差(mm)単一最大:±0.025、累積最大:±0.2/300
冷間転造により軸の歯形を成形しているので歯面の表面は250HV以上に加工硬化し、しかもなめらかな鏡面仕上げとなっているため耐磨耗性に優れ、ナットの組み合わせによる動きも極めてスムーズです。歯面の内部組織は、ファイバーフローが歯形の輪郭に沿って生じ、歯元部の組織が極めて蜜となり、疲れ強さが増加しています。
用途スクリューナットDCMA、DCMB共通
リード角45度
ピッチ誤差(mm)単一最大:±0.025、累積最大:±0.2/300
スピンドルピッチ0.1mmの高精度ねじ加工技術の実現により、従来の0.5mmピッチに対し、1/5の微細送りを可能にしました。
外観形状は従来の標準タイプ(0.5mmピッチ)と互換性を持たせていますので、簡単に交換ができます。
半導体装置のテーブル送り、光学用光軸調整装置の微細送りなどに使用できます。
仕様測定面:ラップ仕上げ
測定範囲(mm)0~6.5
シリーズ148
硬度(測定面)60HRC以上
目量(mm)0.002
表面処理(目盛部)硬質クロムメッキ
先端形状球面(SR4)
目盛仕様正目盛
材質(測定面)合金工具鋼
最大許容誤差(μm)JMPE:±2
RoHS指令(10物質対応)対応
ねじ軸とナット間でボールが転がり運動をするので高い効率が得られ、従来のすべりねじに比べ駆動トルクが1/3以下になります。したがって回転運動を直線運動に変えることだけでなく、直線運動を回転運動に変えることも容易にできます。ボールによる転がり運動のため起動トルクが極めて小さく、すべり運動のようにスティックスリップを起こさないので、正確な微動送りができます。バックラッシがなく、予圧を与えられるので予圧により軸方向すきまをゼロ以下にでき、高い剛性が得られます。効率が高く発熱が小さいので、高速おくりができます。軸端・完成品はねじ軸、ボールねじナットを省スペースに標準化したボールねじユニットです。ねじ軸は端末をサポートユニットに合せて標準化しており、モータとは直結構造になるようにしています。ねじ軸、ボールねじナット形状はコンパクトな設計になっています。ボールねじナットには適量のグリースが封入されています。異物の侵入が考えられる場合は、必ず防じん装置(ジャバラなど)を用いてねじ軸を完全にカバーする必要があります。
ねじれ右方向
スピンドルピッチ0.1mmの高精度ねじ加工技術の実現により、従来の0.5mmピッチに対し、1/5の微細送りを可能にしました。
用途半導体装置のテーブル送り、光学用光軸調整装置の微細送りなど。
測定範囲(mm)0~6.5
最小表示(mm)0.002
全長(mm)55
先端形状球面(SR4)
ハンドル自動化ユニットとは
・手動のハンドル操作の代わりに、自動で位置決めを行う装置です。
・複数のユニットを一括制御することで、段取り作業時間を大幅に短縮できます。
位置決め作業を自動化
・内蔵のモータが送りねじを回転させ、エンコーダで現在位置を把握して目標位置で停止。
・位置決め作業を自動化します。
何度も行う位置決めをスムーズに
・1日に何度も品種変更を行うラインの位置決めを自動化すれば、合計で大幅な時間短縮になります。
・ハンドル操作の順番を間違えられない複雑な位置決め作業の簡略化にも繋がります。
最大32台一括制御
・最大32台のユニットを一括で制御可能。
・それぞれ別の動きをさせることもできます。
位置決め合計時間を短縮
・手作業では時間がかかる複数箇所の位置決め作業を自動化すれば、位置決めの合計時間を短縮できます。
ハンドルからの置き換えが簡単
・既設の操作ハンドルから置き換えるだけで取付完了。
・複雑な導入工程は不要です。
薄型・省スペース
・薄型形状でコンパクト、省スペース化にも貢献します。
防塵・防水対応(EPU-210)
・保護等級IP65を実現。
・粉塵や水がかかる環境でも安心です。
接続方式はRS-485(ModbusRTU)です。
定格回転数(min-1[r.p.m])60±10
定格出力(W)5
入力有線通信:RS-485(ModbusRTU)
電源電圧(V)DC24±10%
保護等級IP65
連続使用時間(分)1以下
消費電流(A)待機:0.03/定格:0.6/最大:1
使用環境温度:-5~50℃(凍結がないこと)/湿度:20~85%RH(結露がないこと)/汚染度:3/標高:海抜2000m以下
角度精度(°)【停止】±5
許容荷重(N)【出力軸】ラジアル荷重:19.6/スラスト荷重:19.6
定格トルク(N・m)0.8
RoHS指令(10物質対応)対応
保持トルク(N・m)【出力軸】0.7※参考値であり、保証値ではありません
スピンドルピッチ0.1mmの高精度ねじ加工技術の実現により、従来の0.5mmピッチに対し、1/5の微細送りを可能にしました。
外観形状は従来の標準タイプ(0.5mmピッチ)と互換性を持たせていますので、簡単に交換ができます。
半導体装置のテーブル送り、光学用光軸調整装置の微細送りなどに使用できます。
仕様測定面:ラップ仕上げ
質量(g)10
測定範囲(mm)0~6.5
シリーズ148
硬度(測定面)60HRC以上
目量(mm)0.002
表面処理(目盛部)硬質クロムメッキ
先端形状球面(SR3)
目盛仕様正目盛
材質(測定面)合金工具鋼
最大許容誤差(μm)JMPE:±5
RoHS指令(10物質対応)対応
スピンドルピッチ0.1mmの高精度ねじ加工技術の実現により、従来の0.5mmピッチに対し、1/5の微細送りを可能にしました。
外観形状は従来の標準タイプ(0.5mmピッチ)と互換性を持たせていますので、簡単に交換ができます。
半導体装置のテーブル送り、光学用光軸調整装置の微細送りなどに使用できます。
仕様測定面:ラップ仕上げ
測定範囲(mm)0~6.5
シリーズ148
硬度(測定面)60HRC以上
目量(mm)0.002
表面処理(目盛部)硬質クロムメッキ
先端形状球面(SR4)
目盛仕様正目盛
材質(測定面)合金工具鋼
最大許容誤差(μm)JMPE:±2
RoHS指令(10物質対応)対応
回転中心高さと移動量が異なる傾斜ステージです。
独自の複合カップリング機構により微細で非常になめらかな動作が可能です。
カメラ、センサなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
移動方向傾斜1方向
使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)0.5
移動装置複合カップリング
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
位置決め精度(°)0.03
繰返し精度±0.002°
ロストモーション(°)0.006
材質アルミ合金
表面処理黒アルマイト梨地
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
センサーノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
種類傾斜ステージ
RoHS指令(10物質対応)対応
回転中心高さと移動量が異なる傾斜ステージです。
独自の複合カップリング機構により微細で非常になめらかな動作が可能です。
カメラ、センサなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類傾斜ステージ
移動方向傾斜2方向
使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)0.5
移動装置複合カップリング
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
位置決め精度(°)0.03
繰返し精度±0.002°
ロストモーション(°)0.006
材質アルミ合金
表面処理黒アルマイト梨地
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
センサーノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
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