多様な用途に対応可能な多機能、高精度の電離真空計です。
外部からのコントロールをはじめ、通信機能、BCD出力等オプション機能を充実させ、各種制御、FA化に貢献します。
トラスコ品番838-3576
寸法(mm)W144×D340×H96
質量(kg)4
測定範囲9.9×10-2~1×10-7Pa
種類真空計
出力IV-55型 Φ15ゲージポート取付
電源電圧AC100V/120V/240V±10% 50Hz/60Hz 85VA
電源電圧(V)AC100/120/240±10% 50Hz/60Hz 85VA
制御出力レコーダ出力 フルレンジDC5V/10V 切換接点出力 2点 110V AC 0.5A(抵抗負荷)
測定流体気体
圧力レンジ(Pa)9.9×10-2~1×10-7
設定圧力単位Pa
1個
¥289,800
税込¥318,780
30日以内出荷
大気圧から高真空領域の測定が可能です。
仕様●接続測定ユニット台数:1台●接続測定ユニット:SW100-A、SP1、ST200-A、SH200-A、SC1、CCMT●セットポイント:3点●表示方法:LEDディスプレイ●適応装置:G-TRANシリーズの真空計を使い圧力表示を必要とする真空装置
種類真空計
外形寸法(mm)DIN48×70×96
電圧(V)DC24±1
出力測定値出力:DC0-10V
適合規格CE
表示デジタル表示、仮数部2桁指数部1桁
サンプリング70ms
アズワン品番3-6054-11
1個
¥83,980
税込¥92,378
欠品中
異なる測定範囲の測定子が接続可能:マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。
コンパクト:従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
ユーザビリティ向上:PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
ラインアップの充実:アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定
世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中):真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
フィラメント寿命お知らせ機能:フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
広範囲の圧力測定:大気圧から高真空領域(1×10+5~1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
正確な大気圧測定:チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)
仕様SWT-16(NW16)・SWT-25(NE25)、ピラニ真空計(0.5mケーブル付き)、大気圧センサ(0.5mケーブル付き)
出力(測定値)出力電圧 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁
使用温度範囲ST200-A(10~50℃)
表示器SWU10-R
測定子電離真空計測:ISG1、ピラニ測:SAU(NW16)
外寸法(mm)ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、SAU+測定子/Φ30×67.5
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。
材質測定子フィラメント・白金(Pt)
種類真空計
電圧(V)DC20~28
出力DC0-10V
表示デジタル・仮数部2桁/指数部1桁(LED表示)
電源電圧(V)100~240
取合フランジNW25
用途ピラニ真空計GPシリーズ用測定子(消耗品)
材質(本体)測定子フィラメント・白金(Pt)
フィラメントの断線がなく、高真空領域での確実な放電を実現する放電監視機能を標準装備。
キー操作で取り扱いやすくデジタルとバーグラフで圧力状態を表示し、放電停止時など各種メッセージにより動作状態を確認できる安心機能付です。
トラスコ品番838-3459
寸法(mm)W144×D220×H96
質量(kg)1.8
測定範囲5.0×10-1~1×10-6Pa
種類真空計
電源電圧AC100V~240V±10% 50Hz/60Hz 30VA
電源電圧(V)AC100~240±10% 50Hz/60Hz 30VA
制御出力レコーダ出力 フルレンジ DC5V/10V 切換接点出力 2点 110V AC 0.5A(抵抗負荷)
測定子C-4A型 Φ15ゲージポート取付測定子方式: C - 4A逆マグネトロン形コールドカソードゲージ
圧力レンジ(Pa)5.0×10-1~1×10-6
設定圧力単位Pa
1個
¥369,800
税込¥406,780
30日以内出荷
気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。
フィラメント材に白金(Pt)を使用しており大気圧でも壊れません。
手軽に低真空領域の圧力を測定できる用途の広い真空計です。
用途真空粗引系の圧力測定
真空排気系の圧力モニタ
真空応用機器のインターロック、シーケンス制御などの制御系に
真空応用機器のプロセス制御
付属品電源ケーブル3m(コントロール一体)、取扱説明書
質量(kg)メーター:0.7、検出ユニット(GP-H):0.035
材質(本体)測定子フィラメント・白金(Pt)
種類真空計
使用温度範囲(℃)10~40
外形寸法(mm)100×130×100
出力DC0~10mV 非線形
表示アナログ
電源電圧(V)AC100~240
使用湿度範囲15~80%(ただし結露なきこと)
測定範囲(Pa)0.4~2700
設定圧力単位Pa
複合真空計タフゲージは、BA電離真空計とピラニ真空計を組み合わせた複合型の真空計です。
これ1本で大気から超高真空までの広範囲を自動的に切り替えながら計測します。
ピラニ真空計は温度計を内蔵して温度補正を行い、温度変化による誤差を低減します。
またピラニ真空計には耐腐食性の材料を使用、高真空ではBA電離真空計がグリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも感度低下が起きにくく、長期間、精度よく測定することができます。
用途真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製
材質ピラニ:Ni、ピラニ温度計:Pt100、BA フィラメント:Y-lr、グリッド:Pt-Mo、コレクタ:Pt-Mo
インターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可
入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF
出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点
入力電源(V)DC24、0.8A
測定範囲1×10-8Pa~1.2×105Pa
RoHS指令(10物質対応)対応
仕様●圧力単位:Pa/Torr/mbar●タフモード:測定時グリッド及びコレクタ電極を通電加熱・OFF/約300℃/約500℃/約700℃に設定可●デガス:グリッド及びコレクタを約900℃にフラッシュ加熱●圧力信号出力:0~10V×1ch
タイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)
用途大学・研究機関での検査・実験装置の低真空測定に、分析装置・理化学機器の低真空測定に
セット内容測定子、測定子ケーブル5m、検出ユニットGP-H
材質(本体)測定子フィラメント・白金(Pt)
種類真空計
電圧(V)AC100~240
出力【レコーダー】0-1mV/非線形出力
測定範囲(Pa)0.4~2700
電源(VA)10
圧力測定範囲(Pa)0.4~2700
大気圧を含む低真空領域(0.05~100000Pa)の測定が可能です。フィラメント材には耐久性に優れた白金(Pt)を採用しています。トランスデューサ型SW1-1は表示器不要でも使用可能です。
ケーブル長(m)測定子:5
出力電圧(V)レコーダー:DC0~10 LOG出力
電源電圧(V)DC24・AC100~240(ACアダプタ使用時)
測定子接続可能:1本/1pc
Edwardsのアクティブ ストレイン(ひずみ)ゲージ(ASG2)は堅牢で耐食性に優れたダイヤフラム ゲージであり、100,000 Pa~100 Paの範囲でガスに依存しない精度の高い測定が可能です。
アクティブ ストレイン(ひずみ)ゲージは、大気圧に近い圧力の高精度でガスに依存しない測定が必要な場合に適しており、ロード ロックなどの用途に最適です。
独立したトランスデューサとして使用できるため、OEMやシステム ビルダーはそれぞれの真空計測のニーズに合ったフレキシブルなソリューションを低コストで開発できます。
また、このゲージをTICインスツルメント コントローラに接続することもできるため、他のさまざまなセンサと組み合わせることにより、完全な真空計測ソリューションを構築できます。
仕様安定度:フルスケールの±0.2%、真空フィッティング: 1/8インチNPT、NW16、電磁的適合性:EN 61326 -2-J (トランスデューサ用)
材質(真空に接する部分)ステンレス鋼316L、ハイステロイC276
質量(g)150
電源(V)DC12~32
消費電力(W)0.1
温度範囲(℃)補正:-10~50、運転:-40~80
精度(%)フルスケールの±0.2
出力インピーダンス(Ω)51
圧力範囲(Pa)(フルスケール)100000・200000
調整方法フル スケール設定、ゼロ設定
温度係数フル スケールの±0.03%/℃
容積(m3)2.78
コネクタ4ピンDIN 43650フォームA
運転DC0~10V、線形
防水性IP65
最小負荷>10キロ オーム
1ミクロンまで測定可能な高性能デジタル真空計です。
任意に設定した真空度に到達した地点でランプが点灯します。
Lowバッテリー表示機能。
オートオフ機能付。
多少の冷凍機油が付着しても大丈夫な熱電対センサー採用。
接続口径1/4フレアメス
付属品専用ケース、電池006P×1
測定範囲1-20000
使用温度範囲(℃)0~40
電源(V)9(006P)電池
精度(大気~1000ミクロン)指示値±5%/(1000~100ミクロン)指示値±3%/(100~1ミクロン)指示値1.5%
センサー熱電対式圧力センサー
機能オートオフ(10min)、設定真空値到達表示ランプ
電池寿命(時間)15
反応速度(秒)(サンプリング)4回
本体寸法(高さ×幅×奥行)(mm)165×85×38
ケーブル長(cm)最大150(巻きコード)
表示切替(可能単位)micron(ミクロン)、Torr(トール)、mTorr(ミリトール)、mmHg(ミリエイチジー)、mBar(ミリバール)、Pa(パスカル)
1個
¥52,980
税込¥58,278
当日出荷
用途分析装置・理化学機器の低真空測定に、大学・研究機関での検査・実験装置の低真空測定に
材質(本体)測定子フィラメント・白金(Pt)
種類真空計
電圧(V)AC100~240
出力測定値出力:DC0-10V/リニア出力
電源(VA)10
1 ライトリングによる圧力表示
新開発のライトリングにより、 セントラルインターフェイスから離れまた場所でシステムの圧力を確認可能です。
2 コンパクトサイズ
APG100シリーズと比べ、 性能を損なうことなく25% 小型化しています。
3 長くなったフィラメント
独自設計によりフィラメント長の最大化に成功し、 感度の強化によって測定範囲の上限と下限の反応性も
向上しました。
4 内蔵フィルター
内蔵フィルターが測定セルを損傷させる粒子を除去するので、設置すればほぼ保守の必要はありません。
5 幅広い電源に対応
15~48Vの幅広い入力電源は業界最大で、電源を気にすることなくゲージを使用することができます。
6 取り付けが簡単
お客様が一番したくないのがソフトウェアの変更や時間のかかる適格性確認です。 そのため、 Edwardsでは最も一般的な出力に対応したモデルを取り揃えました。これにより、 アップグレードがさらに簡単になっています。
7 デジタル/アナログ
Edwardsのデジタルゲージとアナログゲージは設置面積が同じです。 データ収集/制御の必要性が増した場合、あとから簡単にアップグレードすることができます。
8 セットポイントリレー
Edwardsのゲージとしては初めて専用セットポイントリレーを装備しているので、幅広い連鎖アクションを起動することができます。
用途分析機器
真空で実現できる限界に挑戦しつつ、プロセスを完全に最適化し再現可能にすることが、常に最高を目指す上で重要です。
半導体
使用環境が過酷なことで知られていますが、このような環境でもファブが24時間無休で稼働することが極めて重要です。 そのため、すべての部品を厳しく監視することによって稼働時間の大幅な向上を実現します。
医薬
医薬および医薬関連のすべてのプロセスは、プロセスステップごとに異なった真空度を用いています。 プロセスステップで正確かつ信頼性の高い測定を行うことが一貫した出力を得るのに重要です。
仕様セットポイント:0、1、2 (モデルによる)、過圧限界:10bar、デッドボリューム:3.3cm3、保守チューブと電子機器の交換
材質真空接触部:タングステン/レニウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、 ステンレス鋼302S26
寸法(mm)63×37×37 (対辺寸法)
質量(g)130
フランジNW16/25、DV16CF、 1/8" NPT、 4VCR、 8VCR、 ベアチューブ
規格CE、UKCA
出力シリアル:RS232またはRS485
ケーブル長(m)100
温度(℃)最高ベークアウト(電子機器非接触):150
寸法A(mm)37
精度大気圧~100hPa ±50%100hPa~1×103hPa ±15%1×103hPa~5×10-4hPa ±50%
寸法B(mm)52
寸法C(mm)11
範囲1.8~9.2V
アナログ出力0~10
再現性(%)100~1×103hPaの間で読み値の2
保護等級40
インターフェースワンプッシュ式
測定範囲(hPa)大気圧~5×104(大気圧~3.75×10-4torr)
保護機能内蔵フィルター
コネクタ電気:RJ45/9ピンD-sub
保管温度(℃)-30~70
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料APG200データシート(0.82MB)
インジケータステータス:360°高輝度LEDリング
動作温度範囲(℃)5~60°
供給電圧(V)直流15~48
相対湿度(%RH)31℃まで80%、40℃以上では50まで線形に減少
対応ソフトウェアLabviewドライバー
接点定格直流48V (最大) 500mA
コントローラ互換性:TIC/ADC/TAG
1個
¥89,980
税込¥98,978
92日以内出荷
コールドカソードタフゲージCCTG(Cold Cathode Tough Gauge)はカソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました。
また、カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました。
今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます。
用途真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製
インターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可
入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF
出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点
入力電源(V)DC24、1A
測定範囲1×10-8Pa ~ 0.1Pa
電圧(V)3k~500(バイアス/最適制御)
RoHS指令(10物質対応)対応
仕様【圧力単位】Pa/Torr/mbar、【タフモード】測定時カソード電極を通電加熱(温度を3 段階に設定可)、【デガス】カソードを約700℃にフラッシュ加熱、【圧力信号出力】0~10V × 2ch
タイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)
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