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KML502のマニホールド増連の連結に必要なジョイナセットです。

フィルタレギュレータ一体タイプとルブリケータを組み合わせた3点セットです。フィルタは、セミオートドレンタイプなのでドレン排出も簡単です。圧力が掛かっていないときは自動でドレンが排出されます。圧力が掛かっていると手動でドレンの排出が可能になります。

ダストや水滴を効率的に除去

シール材料として各種品目へ広く利用されており、性能、加工性のバランスが最も良い材料です。

エアフィルタとレギュレータをコンパクトに一体化しているため、給油を必要としないオイルレス回路に最適。

フィルターとレギュレータが一体化し省スペース化を実現!フィルタは、セミオートドレンタイプなのでドレン排出も簡単です。圧力が掛かっていないときは自動でドレンが排出されます。圧力が掛かっていると手動でドレンの排出が可能になります。

フィルター・レギュレータ・ルブリケータの3点を一体化した省スペースタイプです。ボディーに圧力計を埋め込み、スッキリしたデザインにすると同時に安全性を確保しました。部分的に破損した時は該当部分の交換のみで対応可能です。小形・大流量のFRL2000シリーズです。面間寸法50mmでコンパクトです。新素材エレメント採用で高性能です。

設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。

フィルター・レギュレーター・ルブリケータの3点を一体化した省スペースタイプです。ボディーに圧力計を埋め込み、スッキリしたデザインにすると同時に安全性を確保しました。小形・大流量のFRL2000シリーズです。面間寸法50mmでコンパクトです。新素材エレメント採用で高性能です。