寸法B(mm)3.9
寸法C(mm)8
フレキチューブの両端にNWフランジが標準でついておりセンタリング、カップリングの使用で簡単に配管接続できます。内部(真空)、外部(大気)。
用途真空機器の配管接続に便利でかつ柔軟な耐食性を持つフレキシブルチューブです。真空チャンバーと真空ポンプ、真空機器類の配管接続に使用できます。
仕様Heリーク量:1×10-7Pa・m3
材質(本体)SUS304
耐熱温度(℃)150
使用圧力(MPaG)0.2以下
真空規格・各種汎用継手部品
用途真空配管・真空機器との接続にご使用いただけます。
材質(フランジ)SUS 316
材質(フレキ/ベローズ)SUS 316L
RoHS指令(10物質対応)対応
高真空対応品です。
材質SUS304
材質フレキ部:ステンレス(SUS316L)、フランジ部:ステンレス(SUS316L)
適合流体各種ガス、空気(真空排気)
寸法A(mm)102
寸法B(mm)123
形状フレキシブルベローズ
材質フレキ部:ステンレス(SUS316L)、フランジ部:ステンレス(SUS316L)
適合流体各種ガス、空気(真空排気)
KF/NW継手はボルト、ガスケットを使用せずセンターリングとクランプで接続致しますので繰り返しの使用や各種継手との接続が容易に行えます。
材質SUS304
NWフランジ付成形ベローズです。センタリング、カップリングで接続できます。内部(真空)、外部(大気)。
用途真空排気ラインの誤差吸収や振動吸収にご使用します。
仕様Heリーク量:1×10-9Pa・m3
耐熱温度(℃)250
寿命10000回
材質(フランジ)SUS316
材質(ベローズ)SUS316L
使用圧力(MPaG)0.2以下
軽量・柔軟で、振動吸収性に優れています。
用途真空配管の省力化、破損防止のための配管接続製品。
材質フレキ部/ステンレス(SUS16L)、フランジ部/ステンレス(SUS304)
仕様シール材バイトンも基づくHeリーク試験/1×10-9
使用温度範囲(℃)-20~120
最高使用圧力(MPa)FV~0.1
適合流体ガス(非腐食性流体に限る)
3ピースボディー、フルポート構造です。
接続部は、真空用NWフランジです。
サイズは、25・40・50が有ります。
※25のみフラットハンドルです。
接液部316製、シート部PTFEなため耐食性に優れています。
仕様禁油可
材質(本体)ステンレス316
材質(シート)PTFE
バルブ種類ボールバルブ
材質リング/SUS316L、Oリング/フッ素ゴム
D3.9
C8
使用温度-10~+200℃(常用150℃)
寸法C(mm)6
寸法D(mm)2.5
形状ブランキングフランジ
真空規格・各種汎用継手部品
用途真空配管・真空機器との接続にご使用いただけます。
板厚(mm)0.15
材質(フランジ)SUS 316
材質(フレキ/ベローズ)SUS 316L
RoHS指令(10物質対応)対応
材質SUS304
形状変換フランジ
材質SUS304
真空規格・各種汎用継手部品
用途真空配管・真空機器との接続にご使用いただけます。
適合規格Swagelok(R)
材質(フランジ)SUS 304
材質(継手)SUS 316
RoHS指令(10物質対応)対応
・リニアガイドの剛性向上でテーブル変位量48%低減。 ピッチ方向変位量:48%減(0.31mm→0.16mm)。 ヨー方向変異量:63%減(0.24mm→0.09mm)。 ロール方向変位量:90%減(0.06mm→0.006mm)。・最大標準ストローク150mm(Φ20の場合)。・質量 最大6%削減(194g→182g)。・取付寸法、全長寸法は既存製品MXHシリーズと同等
RoHS指令(10物質対応)対応
真空規格・各種汎用継手部品
用途真空配管・真空機器との接続にご使用いただけます。
適合規格VCR(R)
材質(フランジ)SUS 304
材質(継手)SUS 316
RoHS指令(10物質対応)対応
材質継手/SUS316L、フランジ/SUS304
1 ライトリングによる圧力表示
新開発のライトリングにより、 セントラルインターフェイスから離れまた場所でシステムの圧力を確認可能です。
2 コンパクトサイズ
APG100シリーズと比べ、 性能を損なうことなく25% 小型化しています。
3 長くなったフィラメント
独自設計によりフィラメント長の最大化に成功し、 感度の強化によって測定範囲の上限と下限の反応性も
向上しました。
4 内蔵フィルター
内蔵フィルターが測定セルを損傷させる粒子を除去するので、設置すればほぼ保守の必要はありません。
5 幅広い電源に対応
15~48Vの幅広い入力電源は業界最大で、電源を気にすることなくゲージを使用することができます。
6 取り付けが簡単
お客様が一番したくないのがソフトウェアの変更や時間のかかる適格性確認です。 そのため、 Edwardsでは最も一般的な出力に対応したモデルを取り揃えました。これにより、 アップグレードがさらに簡単になっています。
7 デジタル/アナログ
Edwardsのデジタルゲージとアナログゲージは設置面積が同じです。 データ収集/制御の必要性が増した場合、あとから簡単にアップグレードすることができます。
8 セットポイントリレー
Edwardsのゲージとしては初めて専用セットポイントリレーを装備しているので、幅広い連鎖アクションを起動することができます。
用途分析機器
真空で実現できる限界に挑戦しつつ、プロセスを完全に最適化し再現可能にすることが、常に最高を目指す上で重要です。
半導体
使用環境が過酷なことで知られていますが、このような環境でもファブが24時間無休で稼働することが極めて重要です。 そのため、すべての部品を厳しく監視することによって稼働時間の大幅な向上を実現します。
医薬
医薬および医薬関連のすべてのプロセスは、プロセスステップごとに異なった真空度を用いています。 プロセスステップで正確かつ信頼性の高い測定を行うことが一貫した出力を得るのに重要です。
仕様セットポイント:0、1、2 (モデルによる)、過圧限界:10bar、デッドボリューム:3.3cm3、保守チューブと電子機器の交換
材質真空接触部:タングステン/レニウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、 ステンレス鋼302S26
寸法(mm)63×37×37 (対辺寸法)
質量(g)130
フランジNW16/25、DV16CF、 1/8" NPT、 4VCR、 8VCR、 ベアチューブ
規格CE、UKCA
出力シリアル:RS232またはRS485
ケーブル長(m)100
温度(℃)最高ベークアウト(電子機器非接触):150
寸法A(mm)37
精度大気圧~100hPa ±50%100hPa~1×103hPa ±15%1×103hPa~5×10-4hPa ±50%
寸法B(mm)52
寸法C(mm)11
範囲1.8~9.2V
アナログ出力0~10
再現性(%)100~1×103hPaの間で読み値の2
保護等級40
インターフェースワンプッシュ式
測定範囲(hPa)大気圧~5×104(大気圧~3.75×10-4torr)
保護機能内蔵フィルター
コネクタ電気:RJ45/9ピンD-sub
保管温度(℃)-30~70
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料APG200データシート(0.82MB)
インジケータステータス:360°高輝度LEDリング
動作温度範囲(℃)5~60°
供給電圧(V)直流15~48
相対湿度(%RH)31℃まで80%、40℃以上では50まで線形に減少
対応ソフトウェアLabviewドライバー
接点定格直流48V (最大) 500mA
コントローラ互換性:TIC/ADC/TAG
1個
¥89,980
税込¥98,978
92日以内出荷
材質継手/SUS316L、フランジ/SUS304
材質継手/SUS316L、フランジ/SUS304
真空排気ラインで発生するポンプからの油の逆拡散を防止し、超高真空ラインにおいては、水分等の吸着により到達圧力の向上に効果を発揮します。油拡散ポンプ排気装置、真空蒸着装置などに数多く採用されています。
真空規格・各種汎用継手部品
用途真空配管・真空機器との接続にご使用いただけます。
材質(フランジ)SUS 316
材質(ブレード)SUS 304
材質フレキ/ベローズ:SUS 316L
RoHS指令(10物質対応)対応
真空規格・各種汎用継手部品
用途真空配管・真空機器との接続にご使用いただけます。
適合規格VCR(R)
材質(フランジ)SUS 304
材質(継手)SUS 316
RoHS指令(10物質対応)対応
材質SUS316L
寸法C(mm)40
真空規格・各種汎用継手部品
用途真空配管・真空機器との接続にご使用いただけます。
使用圧力大気圧~10^-6Pa
材質フレキ/ベローズ:SUS 321
寸法L1(mm)86
最高使用温度(℃)150
材質(ハンドル)アルミ 2024-T4
材質(ボディ)SUS 316
材質(フランジ)SUS 304
RoHS指令(10物質対応)対応
リークレート(Pa・m3/sec)<13×10^-7
NWフランジ+端管付成形ベローズです。内部(真空)、外部(大気) 。
用途真空排気ラインの誤差吸収や振動吸収にご使用します。
材質(ベローズ)SUS316L
耐熱温度(℃)250
寿命10000回
使用圧力(MPaG)0.2以下
材質(フランジ)SUS304
仕様Heリーク量:1×10-9Pa・m3
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