種類ステッピングモーター
電源五相
モーター取付角寸法(mm)42
移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Xステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドボールブッシュ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.003
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.015
使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.01
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
移動ガイドにV溝とクロスローラを採用した高精度Z昇降ステージです。ステージ面が90mm×90mm、125mm×125mmそれぞれに移動量が異なるタイプがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.001mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
最高速度(mm/s)5(5000pps時)
移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類xyステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドボールブッシュ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-BTD2・ACB-BTD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
移動ガイドにV溝とクロスローラを使用した高精度の自動ステージです。
移動ガイドにはクリーンルームグリスを塗布しています。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Xステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
移動方向X軸1方向
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.001
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)鋼材
機械精度を追求した超高精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類xyステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装
繰返し精度(mm)±0.0005
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.0005
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)鋼材
機械精度を追求した超高精度の自動Xステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Xステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装
繰返し精度(mm)±0.0005
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.0005
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)鋼材
真空環境に対応した自動回転ステージです。Φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
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