インライン形クリーンフィルタ FCS500シリーズ ステンレスタイプ
フィルタエレメントに中空糸膜を採用したインライン形クリーンフィルタ(ステンレスボディ)です。
独自の中空糸膜エレメントを採用し、ろ過精度0.01μm、除去効率99.99%を実現しました。
中空糸膜のため、平膜式と比べ、寿命は約5倍アップと長寿命です。
同一容積の平膜式に比べ、3～10倍のろ過面積があり、大流量で低圧損です。同一流量なら小形・軽量化が可能です。
禁油仕様です。部品はすべて脱脂洗浄を実施し、組立から包装までをクリーンルーム内で一貫生産しています。
用途クリーンエア供給用フィルタとして。イオナイザーへのクリーンエア供給用に。液晶基板など非接触搬送時のクリーンエア供給用に。吸着搬送、真空破壊時のエアクリーン化。
仕様構造：ステンレス材料使用/処理：禁油処理 材質制限：なし
質量(g)100
使用圧力(MPa)-0.095～1.5(圧縮空気)、-0.095～0.99(窒素ガス)
材質(ケース)ステンレス
使用流体圧縮空気、窒素ガス(N2)
材質(ボディ)ステンレス
耐圧力(MPa)2.25(圧縮空気)、1.5(窒素ガス)
周囲温度および使用流体温度(℃)5～45
材質(エレメント)ポリプロピレン+ウレタン
特性(組立・検査・包装)クリーンルームにて一貫生産
耐差圧(MPa)0.5
洗浄脱脂洗浄
内容量1個
注意
※アブソリュートフィルタ(絶対ろ過度)としては使えません。異物を極端に嫌う用途(ウェハーへの直接ブローなど)には使用しないでください。※一次圧力0.7MPa、圧力降下0.03MPa時の初期流量です。
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2022-07-26
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