表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
質量(g)約1200
種類コントローラ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
通信方式RS485
表示器一体型：4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)
許容周囲温度(℃)5～45
動作差圧(kPa)50～300
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口：500
継手RC1/4
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
フルスケール流量500SCCM
流量制御範囲2～100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
内容量1式
関連資料：
カタログ(0.77MB)
注意
※流体・流量等の諸条件により、仕様に多数のバリエーションがございます。かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。【型式説明】
8700/8750/8750MC-O-[接続]-[流体]-[最大流量]-[校正温度]
*校正温度：20℃ or 0℃
【MODEL 8700/8750/8750 SERIES 標準仕様】
センサ方式：熱式センサー
最大流量レンジ(N2 換算)：10SCCM～100SLM
精度：FS±1%以内@25℃、FS±1.5%以内@25℃
入口最大圧0.5MPA(G)
耐圧：1.0MPA(G)
許容周囲温度：5～45℃
許容周囲湿度：10～90%RH(結露なきこと)
温度係数：FS±0.1%/℃(15～35℃)、FS±0.2%/℃(15～35℃)
接ガス部材質：ボディ…SUS316、SUS316L
シール材…FKM
接続：RC1/4
アナログ信号：0-5VDC(4-20mAに切替可能)
デジタル通信：RS485
所要電源：DC24V±10% 301mA以下
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