種類傾斜ステージ
精度回転中心：Φ0.05
センサー原点センサ/リミットセンサ：無し
分解能0.001332°
機構移動：複合カップリング
繰返し精度± 0.002°(± 7.2 sec)
耐荷重(N)49
ステージ寸法(mm)70×70
移動方向傾斜 1 方向
送り方式ボールねじ、リード1.0mm
移動ガイドV 溝とクロスローラ
回転中心70mm(ステージ上面より)
使用モータSGMAV-A5ADA61(安川電機、サーボモーター)
位置決め精度(°)0.03(108 sec)
ロストモーション(°)0.006
移動量± 8°
