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シグマ光機

シグマファインステージ

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内容量1台 注文コード19238792 品番SFS-H60X(CL)
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参考基準価格(税別)￥250,000
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種類Xステージ 分解能10nm(クローズ時) 耐荷重(N)19.6 RoHS指令(10物質対応)対応 テーブル幅(mm)60 テーブル長さ(mm)60 ストローク(X距離)(mm)0.1±15%

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