異なる測定範囲の測定子が接続可能:マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。
コンパクト:従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
ユーザビリティ向上:PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
ラインアップの充実:アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定
世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中):真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
フィラメント寿命お知らせ機能:フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
広範囲の圧力測定:大気圧から高真空領域(1×10+5〜1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
正確な大気圧測定:チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)