材質(接ガス部)SUS316L、バイトン、PTFE、磁性ステンレス
接続口径3/8inchSW
バルブ形式非通電時 閉(クローズ)：C
電源(駆動)DC±15V
ガスの種類N2
耐圧(MPa)1(G)
応答速度0〜50LM/1秒以内、100LM〜/2秒以内
アズワン品番4-4272-01
流量精度±1.0%F.S.(15℃〜35℃)
継手(標準)0〜50LM/1/4inch Swagelok相当 面間=127mm、100LM・200LM/3/8inch Swagelok相当 面間=181mm
繰返し再現性±0.2%F.S.(15℃〜35℃)
流量(設定信号)0.1〜5VDC、(出力信号)0-5VDC
フルスケール流量(接続)200SLM
流量制御範囲0〜50LM/2〜100%FS、100LM〜/5〜100%FS
リークレート(Pa・m3/sec)(外部)1×10-8(He)以下
