- 用途
- 大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
- 適合流体
- 水素ガス(H2)
- 仕様
- ●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
- セット内容
- スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
- 材質
- 接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
- 質量(g)
- 約1000
- 電源
- 15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
- 精度
- ±1%F.S.(25℃)
- センサータイプ
- 熱式巻線センサ
- 再現性
- ±0.5%F.S.
- 測定方法
- 熱式
- 耐圧(MPa)
- 1
- 接続
- 1/4SW
- 保存温度(℃)
- -10～60
- 測定対象
- 気体
- 周囲湿度(%RH)
- 10～90(結露なきこと)
- 温度係数
- ±0.1%F.S./℃(15～35℃)
- 許容周囲温度(℃)
- 5～45
- 動作差圧(kPa)
- 50～300
- 応答性
- 2sec以内(within±2%F.S.)
- 最大圧力(kPa)
- 入口：500
- 継手
- 1/4SW
- バルブ種類
- 比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
- フルスケール流量
- 1SLM
- 流量制御範囲
- 2～100%F.S.
- 電気的接続
- D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
- リークレート(Pa・m3/sec)
- 1×10-8以下
- 校正温度(℃)
- 0
