仕様(MIXスピード)6°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無材質(ステージ)アルミ質量(kg)0.65高さ(mm)(ステージ)35種類傾斜ステージ表面処理(ステージ)黒アルマイト分解能約0.001°/パルス(Full)・約0.0005°/パルス(Half)耐荷重(N)24.5RoHS指令(10物質対応)対応送り方式ウォームとウォームホイール移動ガイドクロスローラ回転中心(高さ)130mm/(精度)Φ0.05mm移動量(°)±4位置決め精度(°)±0.004テーブル幅(mm)60テーブル長さ(mm)60原点センサ無