仕様(MIXスピード)6°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無
材質(ステージ)アルミ
質量(kg)1.10(2軸)
高さ(mm)(ステージ)55
種類傾斜ステージ
表面処理(ステージ)黒アルマイト
分解能約0.001°/パルス(Full)α軸・約0.0005°/パルス(Half)α軸・約0.002°/パルス(Full)β軸・約0.001°/パルス(Half)β軸
耐荷重(N)19.1
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームとウォームホイール
移動ガイドクロスローラ
回転中心(高さ)75mm
移動量(°)±7(β軸)・±5(α軸)
位置決め精度(°)<±0.004
テーブル幅(mm)60
テーブル長さ(mm)60
原点センサ無