仕様(MIXスピード)6°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無材質(ステージ)アルミ質量(kg)1.10(2軸)高さ(mm)(ステージ)55種類傾斜ステージ表面処理(ステージ)黒アルマイト分解能約0.001°/パルス(Full)α軸・約0.0005°/パルス(Half)α軸・約0.002°/パルス(Full)β軸・約0.001°/パルス(Half)β軸耐荷重(N)19.1RoHS指令(10物質対応)対応送り方式ウォームとウォームホイール移動ガイドクロスローラ回転中心(高さ)75mm移動量(°)±7(β軸)・±5(α軸)位置決め精度(°)<±0.004テーブル幅(mm)60テーブル長さ(mm)60原点センサ無