XY直交度(mm)0.04
ストローク(X距離)(mm)±100
ストローク(Y距離)(mm)±100
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)200
テーブル幅(mm)200
耐荷重(N)392
送り方式送りねじ
移動ガイドボールウェイ
質量(kg)18
分解能0.005mm
付属品モーターケーブル3m、ドライバARD-A
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.02
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.4、ピッチ剛性：0.4、ロール剛性：0.4
使用モータAR46BA
送りねじリード(mm)5
位置決め精度(mm)0.08
ロストモーション(mm)0.005
最高速度(mm/s)100(20000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
