XY直交度(mm)0.01
ストローク(X距離)(mm)±3
ストローク(Y距離)(mm)±3
ストローク(Z距離)(mm)0〜5
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)14.7
送り方式(XY軸)CMH-6.5RA、(Z軸)CMH-6.5F(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドXY軸：HG-VCR方式(V溝とクロスローラ)、Z軸：V溝とクロスローラ
操作位置(XY軸)逆サイド
質量(kg)0.18
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度 XY軸：0.002、Z軸：0.003
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
