・小型でしかも大流量:ボディ幅18mm ・真空使用可能 ( ー 101.2kPa) 真空・破壊回路に使用可能 ・ユニバーサルポーティングタイプ 1(P)または3(R)ポートへ供給することによりN.C.、N.O.タイプの切換えがで きます。 また、2方弁、セレクタ弁など自由に使用可 ・オゾン対策仕様(80-シリーズ) 接流体部のゴム材質をFKM(フッ素ゴム)を用いることにより、オゾン環境下でも使用可能