使用流体空気(中真空・ノンリーク)
型式VXA22
質量(g)160
種類マニホールド
材質(シール)FKM
弁形式/ボディ形状N.C.(マニホールド用)
オリフィス径(Φmm)6
保証耐圧力(MPa)1.5
材質(ボディ)Zn
最高作動圧力差(MPa)0.6
材質(ベース)AL
弁漏れ(cm3/min)10-6Pa・m3/sec以下
最高システム圧力(MPa)1.0
使用流体温度(℃)-5〜40
周囲温度(℃)-5〜40
材質(ホルダー)PPS
流量特性C〔dm3/(s・bar)〕:3.3、b:0.50、Cv:1.1
パイロット圧力(MPa[kgf/cm2])0.25〜0.7