ダイアフラム型ドライ真空ポンプ(DAU)

接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。
ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能。
自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
大気圧から作動が可能。シンプル構造で、メンテナンスが容易。